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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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准分子激光直刻横向影响区实验研究
柳海鹏, 周月豪, 熊良才, 史铁林
2005, 29(2): 132-134.
关键词: 准分子激光, 直刻, 横向影响区, 脉冲激光参数
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LIGA工艺中微电铸工艺研究
马龙, 周月豪, 熊良才, 柳海鹏, 史铁林
2006, 30(1): 47-49.
关键词: 微电铸, LIGA, 准分子激光, PMMA
[摘要]()
准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究
龙芋宏, 熊良才, 史铁林, 柳海鹏
2006, 30(3): 235-237.
关键词: 激光技术, 光电化学, 准分子激光, 刻蚀, 硅
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微尺度下激光冲击金属材料的特性分析与展望
车志刚, 熊良才, 史铁林, 杨立昆
2008, 32(4): 350-352.
关键词: 激光技术, 微尺度激光冲击处理, 径向冲击力, 材料非线性, 旋转椭球
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水辅助准分子激光微加工硅的实验研究
龙芋宏, 熊良才, 史铁林
2006, 30(6): 567-569.
关键词: 激光技术, 水辅助微加工, 准分子激光, 刻蚀, 硅
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飞秒激光实现微机电系统加工短流程工艺
王建中, 史铁林, 熊良才
2008, 32(1): 88-91.
关键词: 激光技术, 短流程工艺, 飞秒激光, 微机电系统, 微加工
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