LIGA工艺中微电铸工艺研究

马龙; 周月豪; 熊良才; 柳海鹏; 史铁林

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LIGA工艺中微电铸工艺研究

马龙 , 周月豪 , 熊良才 , 柳海鹏 , 史铁林

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Citation:

LIGA工艺中微电铸工艺研究

1.
华中科技大学, 机械科学与工程学院, 武汉, 430074

作者简介: 马龙(1980- ),男,硕士研究生,研究方向为微制造加工工艺..

通讯作者: 史铁林, tlshi@public.wh.hb.cn

基金项目:
国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA421190)
中图分类号: TG665

The study of micro-electroform in LIGA

1.
School of Mechanical Science and Engineering, HUST, Wuhan 430074, China

Corresponding author: SHI Tie-lin, tlshi@public.wh.hb.cn

CLC number: TG665

摘要: 为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构.为进一步的微结构加工奠定了基础.
- 微电铸 /
- LIGA /
- 准分子激光 /
- PMMA
Abstract: A high-aspect-ration hole with line width of 32μm,height of 2000μm are drilled on PMMA by excimer laser,then it is used as mould in electroform as well as another structure made by lithographic.Through experiments,the parameters are optimined to fit the high-aspect-ration structure electroform,two main difficulties including the surface tension and polarization of concentration are resolved and the micro-structure with line width of 10μm is obtained.
- microelectroform /
- lithographie galvanoformung abformung(LIGA) /
- excimer laser /
- PMMA

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LIGA工艺中微电铸工艺研究

通讯作者: 史铁林, tlshi@public.wh.hb.cn

作者简介: 马龙(1980- ),男,硕士研究生,研究方向为微制造加工工艺.

1. 华中科技大学, 机械科学与工程学院, 武汉, 430074

收稿日期: 2004-10-20
录用日期: 2004-11-03
网络出版日期: 2006-01-25

基金项目: 国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA421190)

关键词:

微电铸 /
LIGA /
准分子激光 /
PMMA

摘要: 为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构.为进一步的微结构加工奠定了基础.