准分子激光直刻横向影响区实验研究

柳海鹏; 周月豪; 熊良才; 史铁林

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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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准分子激光直刻横向影响区实验研究

柳海鹏 , 周月豪 , 熊良才 , 史铁林

文章导航 > 激光技术 > 2005 > 29(2): 132-134

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Citation:

准分子激光直刻横向影响区实验研究

1.
华中科技大学, 机械科学与工程学院, 武汉, 430074

作者简介: 柳海鹏(1980- ),男,硕士研究生,研究方向为微制造加工工艺.史铁林,通讯联系人.E-mail:tlshi@public.wh.hb.cn;柳海鹏(1980- ),男,硕士研究生,研究方向为微制造加工工艺.史铁林,通讯联系人.E-mail:tlshi@public.wh.hb.cn.

通讯作者: 史铁林, tlshi@public.wh.hb.cn

基金项目:
国家高技术研究发展计划 (八六三计划 )资助项目(2002AA421190)
中图分类号: TG665

Experimental study on transverse affect zone in excimer laser direct etching

1.
School of Mechanical Science and Engineering, HUST, Wuhan 430074, China

Corresponding author: SHI Tie-lin, tlshi@public.wh.hb.cn

CLC number: TG665

摘要: 采用248nmKrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区。将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系。在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法。
- 准分子激光 /
- 直刻 /
- 横向影响区 /
- 脉冲激光参数
Abstract: The experiments of micro-machining metal and semiconductor pieces by 248nm KrF excimer laser directetching are carried out.Transverse affect zone is observed on the machined samples'surface.It includes two regions which are described by their dimension and color.The relationship between the regions and the parameters of the laser are studied.The measures to reduce the transverse affect zone are also provided based on the results of the experi ments.

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