激光技术

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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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激光辅助固态薄膜淀积技术的进展

宋登元

1991, 15(5): 284-289.

关键词:

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ArF准分子激光光刻的研究现状

宋登元

1999, 23(5): 288-291.

关键词: 光刻, 准分子激光, VLSI

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Ar+激光诱导湿刻Si的特性研究

宋登元, 郭宝增, 李宝通

1999, 23(3): 190-193.

关键词: 激光, Si, 光化学腐蚀

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