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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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用于ICF驱动器的色分离相位光栅的研究
袁静, 魏晓峰, 郭永康, 粟敬钦, 袁晓东, 师智全, 丁磊, 刘华
1999, 23(3): 168-172.
关键词: ICF驱动器, 色分离相位光栅, 离轴分离, 衍射效率
[摘要]()
位相扰动下“热像”规律研究
王逍, 景峰, 朱启华, 张清泉, 彭志涛, 谢良平, 粟敬钦, 陈建国
2003, 27(6): 541-543,576.
关键词: 光学, 热像, 数值模拟, 非线性效应, 位相调制, 位相扰动
[摘要]()
亮暗衬线法校正邻近效应及其实验研究
杜惊雷, 粟敬钦, 姚军, 张怡霄, 高福华, 杨丽娟, 崔铮
2000, 24(4): 213-217.
关键词: 邻近效应, 光学邻近校正, 亚微米光刻
[摘要]()
畸变的掩模对光刻图形质量的影响
杜惊雷, 曾阳素, 黄晓阳, 粟敬钦, 郭永康, 崔铮
2002, 26(1): 20-22.
关键词: 激光直写, 邻近效应, 分辨力, 抗蚀剂模型
[摘要]()

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