激光技术

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

论文元数据搜索，找到相关信息共 3 条：

选择全部

准分子激光直刻横向影响区实验研究

柳海鹏, 周月豪, 熊良才, 史铁林

2005, 29(2): 132-134.

关键词: 准分子激光, 直刻, 横向影响区, 脉冲激光参数

[摘要]()

LIGA工艺中微电铸工艺研究

马龙, 周月豪, 熊良才, 柳海鹏, 史铁林

2006, 30(1): 47-49.

关键词: 微电铸, LIGA, 准分子激光, PMMA

[摘要]()

准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究

龙芋宏, 熊良才, 史铁林, 柳海鹏

2006, 30(3): 235-237.

关键词: 激光技术, 光电化学, 准分子激光, 刻蚀, 硅

[摘要]()

地址：成都市武侯区人民南路四段7号（成都238信箱）邮政编码：610041 电话：028-68011091/68011046 Email： jgjs@vip.163.com, jgjs@sina.com