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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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补偿式光纤双法布里－珀罗微位移测量系统

朱若谷

1994, 18(1): 61-64.

关键词: 补偿, 双法布里－珀罗干涉仪, 微位移测量

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激光双法-珀干涉纳米测量系统总体设计

陈本永, 朱若谷, 吴昭同

2000, 24(6): 379-384.

关键词: 纳米测量, 双法-珀干涉仪, 轻拍式探针, 柔性铰链微动工作台, PID闭环控制

[摘要]()

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