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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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a-SiNx:H薄膜的热丝化学气相沉积及微结构研究
张娜, 周炳卿, 张林睿, 路晓翠
2016, 40(3): 413-416. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.03.024
关键词: 薄膜, SiNx:H, 光致发光光谱, 键合结构, 热丝化学气相沉积