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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究

章琳, 楼祺洪, 魏运荣, 董景星, 李铁军, 黄峰

2002, 26(2): 94-96.

关键词: 紫外准分子激光, 刻蚀, PI, 微图形制作

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紫外激光切割Si片的实验研究

楼祺洪, 章琳, 叶震寰, 董景星, 魏运荣

2002, 26(4): 250-251,254.

关键词: 紫外激光, 激光切割, 硅片

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