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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制
刘佳敏, 陶泽, 张传维, 刘世元
2016, 40(4): 472-475. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.04.003
关键词: 测量与计量, 光谱薄膜测厚仪, 紧凑, 逆问题, 干涉, 不确定度