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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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基于光学相干层析成像技术的薄膜厚度测量

秦玉伟

2012, 36(5): 662-664. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.05.022

关键词: 测量与计量, 薄膜厚度, 谱域, 光学相干层析成像

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光学相干层析成像用于微机电系统测量研究

秦玉伟

2013, 37(5): 664-667. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.05.022

关键词: 测量与计量, 结构, 光学相干层析成像, 微机电系统

[摘要]()

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