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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制

刘佳敏, 陶泽, 张传维, 刘世元

2016, 40(4): 472-475. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.04.003

关键词: 测量与计量, 光谱薄膜测厚仪, 紧凑, 逆问题, 干涉, 不确定度

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PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

郭春付, 张传维, 李伟奇, 李晓平, 刘世元

2019, 43(4): 585-590. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.04.026

关键词: 测量与计量, 聚对苯二甲酸乙二醇酯, 复合衬底, 介质膜, 光谱椭偏, 膜厚

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