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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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硅各向异性腐蚀的微小谐振器的研制
李以贵, 贾书海, 陈迪, 杨春生
2003, 27(3): 211-213.
关键词: 微小共振器, 硅各向异性腐蚀, 硅模具, 染料激光器