硅各向异性腐蚀的微小谐振器的研制

李以贵; 贾书海; 陈迪; 杨春生

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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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硅各向异性腐蚀的微小谐振器的研制

李以贵 , 贾书海 , 陈迪 , 杨春生

文章导航 > 激光技术 > 2003 > 27(3): 211-213

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硅各向异性腐蚀的微小谐振器的研制

1.
上海交通大学微纳米技术研究院, 上海, 200030

作者简介: 李以贵,男,1965年1月出生.副教授,博士.主要从事MEMS、微传感器及光电测试方面的研究..

中图分类号: TN248

Micro-resonator fabricated by anisotropic Si etching

1.
Institute of Micro/Nanometer Science & Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai, 200030
CLC number: TN248

摘要: 研究了一种利用硅微结构直接作为模具制作微小固体染料激光器谐振腔。它采用了硅的深层反应离子刻蚀技术(deepRIE)并结合硅的各向异性腐蚀技术(EPW),由于EPW对〈110〉面有仅次于〈111〉面的腐蚀速率,可制造出具有光学镜面的侧壁面的硅模具。利用此模具可制成出四角形环型PMMA固态染料微小谐振腔。利用激光染料若丹明6G掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),在调QNd:YAG自倍频激光532nm泵浦下,得到590nm波长附近的激光输出。
- 微小共振器 /
- 硅各向异性腐蚀 /
- 硅模具 /
- 染料激光器
Abstract: In this paper,a novel fabrication technique to obtain silicon crystalline flat planes is described.The selected Si crystalline planes that are not always the planes having the lowest etching rate are pre-obtained by deep-RIE.Si anisotropic wet etching generates the flat crystalline planes with EPW after the deep-RIE.The proposed technique is demonstrated by fabricating a solid polymer dye micro-cavity laser that is molded by the etched Si cavity.The lasing spectra confirm that the planes are optically smooth by measuring the sidewalls of the Si mold.
- micro-cavity /
- anisotropical Si etching /
- Si mold /
- dye laser

[1]	Slusher R E,Pearton S J,McCall S L et al.A P L,1992,60(3):289～291.
[2]	Ando S,Kobayashi N,Ando H.Japan J A P,1995,34(1):L4～L6.
[3]	Okayasu M,Oku S,Ikeda M.IEEE Photo Technol Lett,1991,3(3):588～590.
[4]	Wu S L,Ho S T,Bi W G et al.Phys Rev Lett,1995,75(9):2678～2681.
[5]	Sasaki M,Li Y,Akatu Y et al.Japan J A P,2000,39(12B):7145～7149.
[6]	Seidel H,Csepregi A,Heuberger A et al.J Electrochem Soc,1990,137(12):3612～3626.

[1]	李艺 , 宋连科 . 染料激光器双折射调谐器设计讨论. 激光技术, 1995, 19(1): 34-37.
[2]	李又生 , 陈美锋 , 张德沛 , 李斌 . 闪光灯泵浦施主-受主染料激光器. 激光技术, 1997, 21(5): 293-296.
[3]	杨胜利 . 紧凑型串联短腔染料激光器与放大系统. 激光技术, 1995, 19(4): 201-203.
[4]	申铉国 , 殷景志 , 张铁强 , 龙北生 . CARS测温中OPO代替常用的染料激光器的特性研究. 激光技术, 1998, 22(2): 89-91.
[5]	刘扬满 . 染料激光器的热透镜效应及三重态的消除方法. 激光技术, 1999, 23(3): 183-185.
[6]	邹福清 , 刘建卿校 . 医用染料激光器. 激光技术, 1987, 11(5): 64-64.
[7]	邹福清译 , 刘建卿校 . 染料激光器闪光灯. 激光技术, 1987, 11(5): 6-6.
[8]	刘源 , 李正佳 , 吴奇彬 . Nd：YAG激光器切割硅薄膜太阳能电池的工艺参数研究. 激光技术, 2006, 30(3): 248-251.
[9]	九所 . 密封式硼硅玻璃波导CO2激光器的研制(初步)报告. 激光技术, 1979, 3(1): 41-45,22.
[10]	贺跃坤 , 林良华 . 硼硅玻璃波导CO2激光器的波导管壁厚度与输出功率. 激光技术, 1980, 4(4): 20-21,47.
[11]	阎平 , 魏光辉 , 邓仁亮 , 刘耀岗 , 王继扬 . 硼酸铝钕染料调Q激光器. 激光技术, 1990, 14(6): 21-24.
[12]	张贤义译 , 刘建卿校 . Nd：YAG泵浦染料激光器. 激光技术, 1991, 15(5): 270-270.
[13]	周天文 , 姜永生 . BDN染料调Q激光器的效率. 激光技术, 1987, 11(1): 26-30.
[14]	于祖兰译 , 渊封鸿校 . 飞秒染料激光器输出可调蓝绿脉冲. 激光技术, 1988, 12(5): 41-41.
[15]	杨晴初 . 1.06及0.9微米硅雪崩光电探测器. 激光技术, 1980, 4(1): 14-20.
[16]	张伟 , 范剑英 . 光学薄膜的各向异性折射率. 激光技术, 1989, 13(3): 35-39.
[17]	王其祥 . 光在各向异性媒质中传播的特点. 激光技术, 1981, 5(1): 53-59.
[18]	邝能俊 , 张德沛 , 陈美锋 , 李又生 . 灯泵浦二元染料激光器实验研究. 激光技术, 1990, 14(2): 17-21.
[19]	张铁军 . 脉冲注入锁定染料激光器的光束参数选择和模式匹配. 激光技术, 1989, 13(5): 45-51.
[20]	刘宏发 , 严柏生 , 张国威 . 宽调谐范围三频共线输出染料激光器. 激光技术, 1993, 17(1): 6-10.

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硅各向异性腐蚀的微小谐振器的研制

作者简介: 李以贵,男,1965年1月出生.副教授,博士.主要从事MEMS、微传感器及光电测试方面的研究.

1. 上海交通大学微纳米技术研究院, 上海, 200030

收稿日期: 2002-02-06
录用日期: 2002-04-15
网络出版日期: 2003-05-25

关键词:

摘要: 研究了一种利用硅微结构直接作为模具制作微小固体染料激光器谐振腔。它采用了硅的深层反应离子刻蚀技术(deepRIE)并结合硅的各向异性腐蚀技术(EPW),由于EPW对〈110〉面有仅次于〈111〉面的腐蚀速率,可制造出具有光学镜面的侧壁面的硅模具。利用此模具可制成出四角形环型PMMA固态染料微小谐振腔。利用激光染料若丹明6G掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),在调QNd:YAG自倍频激光532nm泵浦下,得到590nm波长附近的激光输出。