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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤
常艳贺, 金春水, 李春, 邓文渊, 靳京城
2014, 38(3): 302-306. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.03.004
关键词: 薄膜, 激光损伤, 氟化物, 聚集密度, 电场强度分布