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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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硅基片上刻蚀衍射光栅及其平坦化设计

陈鑫, 武爱民, 仇超, 黄海阳, 赵瑛璇, 盛振, 李伟, 甘甫烷

2017, 41(3): 361-366. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.03.012

关键词: 集成光学, 刻蚀衍射光栅, 硅基光互连, 波分复用技术

[摘要]()

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