为了测得外差干涉仪的相位移,采用插频法对外差干涉仪的参考信号与测量信号进行了处理,从而测得两个信号的相位差即多普勒频移。插频法基于过零检测原理,即在测量信号与参考信号上升沿来临时,分别对两信号插入脉冲,通过对插入的脉冲计数,实现相位差的测量。外差干涉仪光源是拍频为2.2MHz的He-Ne激光,使用迈克尔逊干涉仪测量系统,插入脉冲频率为100MHz,计数及乘除等相关运算用现场可编程门阵列实现,理论分析测量分辨率可以达到(11)/(1000)λ,约为6.9608nm。结果表明,该方法具有很强的实际应用价值。