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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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高精度数字式光学膜厚监控系统
鞠兵, 马孜, 蔡邦维
2006, 30(3): 283-285.
关键词: 薄膜, 光学膜厚监控, 数字式锁相放大器, 精度, 信噪比