激光技术

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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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从极紫外光刻发展看全球范围内的技术合作

曾海峰, 郭磊, 李世光, 钟志坚, 李琛毅, 余江, 李显杰

2023, 47(1): 1-12. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.01.001

关键词: 集成光学, 光刻, 极紫外, 集成电路, 合作, 发展

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窄谱宽中红外激光技术研究进展

吕国瑞, 卞进田, 温佳起, 孔辉, 徐海萍, 郭磊, 王荣庆

2023, 47(6): 742-750. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.06.003

关键词: 激光技术, 窄谱宽, 固体激光器, 光纤激光器, 光参量振荡器

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