激光技术

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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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纳米Si/SiNx薄膜的制备及对Nd：YAG激光器的被动调Q

吕蓬, 郭亨群, 王加贤, 李立卫, 申继伟

2008, 32(2): 163-165,170.

关键词: 激光技术, 射频磁控反应溅射, 纳米硅镶嵌氮化硅薄膜, Nd：YAG激光器, 被动调Q

[摘要]()

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