双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

赵家敏; 高健; 梁勖; 王效顺; 游利兵; 王庆胜; 余吟山; 方晓东

doi:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.01.024

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

赵家敏 , 高健 , 梁勖 , 王效顺 , 游利兵 , 王庆胜 , 余吟山 , 方晓东

文章导航 > 激光技术 > 2013 > 37(1): 97-100

引用本文:

Citation:

双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

1.
中国科学院安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031;
2.
合肥工业大学电子科学与应用物理学院, 合肥 230009

作者简介: 赵家敏(1985- ),男,博士研究生,主要从事准分子激光技术及激励电源的研究..

通讯作者: 方晓东, Xdfang@aiofm.ac.cn

中图分类号:
TN248.2;TN245

Study on pulse charge power for a dual-chamber excimer laser

1.
Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Hefei 230031, China;
2.
School of Electronic Science & Applied Physics, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China

Corresponding author: FANG Xiao-dong, Xdfang@aiofm.ac.cn

CLC number:
TN248.2;TN245

摘要: 为了满足工业用振荡-放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求,设计了高重频高精度的脉冲充电电源.该电源采用LC谐振倍压的方式,同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电,倍压比为1.87.通过对电源工作时序的调节,实现千赫兹高重频放电激励,在电源输出电压约为1300V时,充电电压精度为0.18%.结果表明,通过充电电压精度控制单元,对充电电压反馈调节,可以实现充电电压的高精度.
- 激光技术 /
- 充电电源 /
- 谐振 /
- 高重频 /
- 高精度 /
- 准分子激光
Abstract: In order to satisfy the exciting technique of a master oscillator power amplifier(MOPA) excimer laser for industrial use,a high-repetition and high-accuracy pulse charge power was designed.The power can simultaneously charge the charging capacitors for the dual chamber excimer laser with a LC resonant circuit with a voltage ratio of 1.87.By regulating the work schedule,the power can discharge at kHz level frequency.When the output voltage was about 1300V,the voltage precision was0.18%.The charging voltage can be controlled at high accuracy by the voltage feedback regulation.
- laser technique /
- charge power /
- resonance /
- high-repetition frequency /
- high-accuracy /
- excimer laser

[1]	李友布 , 梁勖 , 赵家敏 , 鲍健 . MOPA结构准分子激光电源的高精度电压控制研究. 激光技术, 2013, 37(5): 660-663. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.05.021
[2]	徐健 , 梁勖 , 刘冬生 , 潘冰冰 , 方晓 , 罗乐 . 脉冲激光系统充电电源功率因数校正技术研究. 激光技术, 2020, 44(6): 732-737. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.06.015
[3]	张兴亮 , 石宝松 . 36kV/10kW CO2激光器充电电源的研制. 激光技术, 2016, 40(4): 586-591. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.04.027
[4]	厉彦超 , 游利兵 , 王庆胜 , 余吟山 , 方晓东 . 准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究. 激光技术, 2013, 37(6): 803-807. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.06.022
[5]	郭商勇 , 陈涛 , 刘世炳 . 提高准分子激光打孔质量的方法研究. 激光技术, 2006, 30(6): 625-627.
[6]	陈星 , 游利兵 , 代甜甜 , 王宏伟 , 杨礼昭 , 程超 , 方晓东 . 308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验研究. 激光技术, 2020, 44(1): 100-107. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.01.018
[7]	曹正林 , 沈建新 , 廖文和 . 准分子激光切削角膜与飞点扫描算法的研究. 激光技术, 2006, 30(6): 631-635.
[8]	龙芋宏 , 熊良才 , 史铁林 . 水辅助准分子激光微加工硅的实验研究. 激光技术, 2006, 30(6): 567-569.
[9]	龙芋宏 , 熊良才 , 史铁林 , 柳海鹏 . 准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究. 激光技术, 2006, 30(3): 235-237.
[10]	邓国庆 , 刘勇 , 贺龙海 , 崔卫华 . 小型化准分子激光器气体性能的优化. 激光技术, 2010, 34(4): 529-531,551. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.04.026
[11]	叶震寰 , 楼祺洪 , 李红霞 , 董景星 , 魏运荣 . 准分子激光光束均匀技术. 激光技术, 2005, 29(2): 207-209,212.
[12]	李燕凌 , 贾凯 , 顾宪松 , 郭嘉伟 , 高恒 , 王霞 . 25kHz、约2ns声光调Q Nd:YVO₄激光器研究. 激光技术, 2018, 42(1): 34-38. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.01.007
[13]	宋登元 . ArF准分子激光光刻的研究现状. 激光技术, 1999, 23(5): 288-291.
[14]	林振能 , 沈建新 , 廖文和 . 193nm准分子激光切削角膜的研究. 激光技术, 2003, 27(6): 510-513.
[15]	魏仁选 . 准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究. 激光技术, 2004, 28(1): 85-87.
[16]	柳海鹏 , 周月豪 , 熊良才 , 史铁林 . 准分子激光直刻横向影响区实验研究. 激光技术, 2005, 29(2): 132-134.
[17]	邓国庆 , 朱志强 , 余吟山 . C→A跃迁准分子激光阈值条件的研究. 激光技术, 2005, 29(5): 466-469.
[18]	邓国庆 , 余吟山 . 准分子激光屈光矫正系统及实验研究. 激光技术, 2005, 29(4): 417-419,448.
[19]	谭东晖 , 陆冬生 , 宋文栋 , 范永昌 , 安承武 . 准分子激光直接清洗硅片上油脂的实验研究. 激光技术, 1995, 19(5): 319-310.
[20]	赵读亮 , 梁勖 , 方晓东 . 电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制. 激光技术, 2017, 41(4): 484-488. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.04.005

点击查看大图

计量

文章访问数: 3487
HTML全文浏览量: 687
PDF下载量: 450
被引次数: 0

双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

通讯作者: 方晓东, Xdfang@aiofm.ac.cn

作者简介: 赵家敏(1985- ),男,博士研究生,主要从事准分子激光技术及激励电源的研究.

1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031;
2. 合肥工业大学电子科学与应用物理学院, 合肥 230009

收稿日期: 2012-04-09
录用日期: 2012-05-10
网络出版日期: 2013-01-25

关键词:

摘要: 为了满足工业用振荡-放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求,设计了高重频高精度的脉冲充电电源.该电源采用LC谐振倍压的方式,同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电,倍压比为1.87.通过对电源工作时序的调节,实现千赫兹高重频放电激励,在电源输出电压约为1300V时,充电电压精度为0.18%.结果表明,通过充电电压精度控制单元,对充电电压反馈调节,可以实现充电电压的高精度.