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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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非晶硅薄膜太阳能电池激光除边工艺研究

王中 何里 卢飞星

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非晶硅薄膜太阳能电池激光除边工艺研究

    作者简介: 王中(1965- ),男,高级工程师,主要从事激光加工成套技术的研究.E-mail:wzhong@public.wh.hb.cn.
  • 中图分类号: TN249

Research of laser edge deletion technology of a-Si:H thin film solar cell

  • CLC number: TN249

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-05-10
  • 录用日期:  2010-05-31
  • 刊出日期:  2011-03-25

非晶硅薄膜太阳能电池激光除边工艺研究

    作者简介: 王中(1965- ),男,高级工程师,主要从事激光加工成套技术的研究.E-mail:wzhong@public.wh.hb.cn
  • 1. 华中科技大学激光加工国家工程研究中心, 武汉, 430074;
  • 2. 武汉华工激光工程有限责任公司, 武汉, 430223

摘要: 为了解决在非晶硅薄膜太阳能电池的制备中,喷砂除边工序存在污染大、加工一致性不佳等问题,使用1064nm脉冲光纤激光器,在加工速率3500mm/s、功率30W、重复频率80kHz、填充线间距0.05mm的参量下,完成了激光除边,获得了清除区电阻大于1000MΩ的样品。根据实验效果确定了最佳光斑交叠比,x和y方向的最佳比值分别为0.83和0.88。结果表明,激光功率足够时,光斑交叠情况会明显影响除边的效率和效果,扫描速率应与重复频率和填充线间距匹配,从而在最佳效率下获得理想的加工效果。

English Abstract

参考文献 (9)

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