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激光诱导等离子体加工石英微通道的研究

冯彩玲 王海旭 秦水介

引用本文:
Citation:

激光诱导等离子体加工石英微通道的研究

    作者简介: 冯彩玲(1982- ),女,硕士研究生,现主要从事激光微加工的研究..
    通讯作者: 秦水介, sjqin@mail.gzst.gov.cn
  • 基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(50375031);贵州省国际科技合作计划资助项目(黔科合国字(2004)11004号);贵州省优秀科技教育人才省长专项资金项目(黔省专合字(2005)199号);2006年度教育部博士点基金资助项目

  • 中图分类号: TG664

Research of the fabrication of micro channels in a fused silica substrate using laser-induced plasma

    Corresponding author: QIN Shui-jie, sjqin@mail.gzst.gov.cn
  • CLC number: TG664

  • 摘要: 为了在熔融石英基体内制作出高质量的微通道,分别用调Q的Nd:YAG脉冲激光器输出的基频光(1064nm)和经过倍频晶体后的混合光(倍频光为70%,基频光为30%)辐照熔融石英玻璃,通过诱导等离子体加工微通道,并初步分析了基频光与混合光加工产生差别的原因。结果表明,用混合光加工的通道内壁较光滑,加工速度快,所加工的通道最深达8mm。
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-09-08
  • 录用日期:  2009-10-23
  • 刊出日期:  2010-07-25

激光诱导等离子体加工石英微通道的研究

    通讯作者: 秦水介, sjqin@mail.gzst.gov.cn
    作者简介: 冯彩玲(1982- ),女,硕士研究生,现主要从事激光微加工的研究.
  • 1. 贵州大学 贵州省光电子技术及应用重点实验室 贵阳 550025
基金项目:  国家自然科学基金资助项目(50375031);贵州省国际科技合作计划资助项目(黔科合国字(2004)11004号);贵州省优秀科技教育人才省长专项资金项目(黔省专合字(2005)199号);2006年度教育部博士点基金资助项目

摘要: 为了在熔融石英基体内制作出高质量的微通道,分别用调Q的Nd:YAG脉冲激光器输出的基频光(1064nm)和经过倍频晶体后的混合光(倍频光为70%,基频光为30%)辐照熔融石英玻璃,通过诱导等离子体加工微通道,并初步分析了基频光与混合光加工产生差别的原因。结果表明,用混合光加工的通道内壁较光滑,加工速度快,所加工的通道最深达8mm。

English Abstract

参考文献 (20)

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