KrF准分子激光烧蚀氧化镁单晶的实验研究

范永昌

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KrF准分子激光烧蚀氧化镁单晶的实验研究

范永昌

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KrF准分子激光烧蚀氧化镁单晶的实验研究

范永昌¹

1.
华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074;
2.
英国赫尔大学应用物理系

Experiment studies of laser ablation of magnesium oxide crystal

Fan Yongchang¹

1.
National Laboratory of Laser Technology, HUST;
2.
Applied Physics Department, University of Hull, United Kingdom

摘要: 本文采用光谱学和离子探针等检测手段,对KrF准分子激光烧蚀氧化镁单晶的物理过程进行了实验研究。结果表明,激光烧蚀等离子体内的主要粒子形态是镁原子和一价的镁离子,其粒子的动能在30～45eV范围。从烧蚀部位的扫描电镜形貌分析表明,在激光能量密度近于烧蚀阈值时,激光辐照的氧化镁单晶表面呈现出一定程度的层离特征。
- 激光烧蚀 /
- 氧化镁单晶 /
- 光谱测量
Abstract: The Excime laser ablation of Magnesium oxide crystal was studied by emission spec-troscopy and ion probe diagnostic techniques. The experiment results show that the main particle species existed in the laser ablated plasma are Mg atoms and Mg+ ions. and their kinetic energy is in the range of 30 to 45eV. A threshold fluence for significant material removal of 3 J/cm2 was determined by ablation depth rate measurement.and below this value,surface damage in the form of micro-crack was observed.
- laser ablation /
- MgO crystal /
- spectroscopic analysis

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KrF准分子激光烧蚀氧化镁单晶的实验研究

范永昌¹

1. 华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074;
2. 英国赫尔大学应用物理系

网络出版日期: 1995-09-25

关键词:

摘要: 本文采用光谱学和离子探针等检测手段,对KrF准分子激光烧蚀氧化镁单晶的物理过程进行了实验研究。结果表明,激光烧蚀等离子体内的主要粒子形态是镁原子和一价的镁离子,其粒子的动能在30～45eV范围。从烧蚀部位的扫描电镜形貌分析表明,在激光能量密度近于烧蚀阈值时,激光辐照的氧化镁单晶表面呈现出一定程度的层离特征。