薄膜蒸镀

于祖兰

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薄膜蒸镀

于祖兰

文章导航 > 激光技术 > 1991 > 15(2): 96-96

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薄膜蒸镀

于祖兰

摘要: 由Plasmatron Coatings & Systems公司生产的UHV型X多室薄膜蒸镀系统可用于在低温下生产高温超导器件,基片加工室以原地、大面积、高密度、抗等离子体装置等为特色,这样就可以让基片在淀积期间浸没在高密度的氧原子等离子体中。

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