控制薄膜淀积的设备

中尧; 松明

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控制薄膜淀积的设备

中尧 , 松明

文章导航 > 激光技术 > 1991 > 15(1): 64-64

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控制薄膜淀积的设备

中尧,
松明

摘要: 美国Sycon仪器公司的STS-200型薄膜淀积厚度/速度控制仪具有用于多层复合晶体制备的9流程、99层程序设计。

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