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为了验证组合系统的测量精度与可靠性,以光纤阵列及连接头为研究对象如图 2a所示,对其进行精密对准测试实验。系统选用的光纤阵列由12芯光纤组成,其纤芯直径为∅50μm±1.5μm,纤芯间距为80μm,裸芯长度约为3mm;连接头的插槽直径为∅55μm±1μm,插槽间距为80μm,插槽长度为1.4mm。
光纤阵列及连接头的对准偏差如图 2b所示。图中δα, δβ, δγ为光纤阵列与连接头的姿态偏差,δx和δz为光纤阵列及连接头的径向偏差,D1和D2分别为连接头与光纤阵列的直径,L为连接头的插槽长度。通过对光纤阵列及连接头的具体结构尺寸以及在空间中的对接关系分析,理论上需两零件对准的径向、姿态偏差分别小于(D1-D2)/2=(56-48.5)/2=3.75μm, arctan[(D1-D2)/L]=arctan[(56-48.5)/1400]=0.307°,因此, 通过分析光纤阵列与连接头间的对准偏差以验证组合系统的测量精度。
搭建实验测试平台如图 3所示。该系统主要由成像单元、倾角仪辅助测量单元、位姿调整单元以及零部件夹持单元四部分组成。组合系统中远心镜头Ⅰ和Ⅱ的工作距离均为110mm,放大倍数分别为0.17, 0.3倍,景深分别为4.44mm, 11.2mm;CMOS图像传感器的分辨率与像元尺寸分别为1280×1024, 4.8μm×4.8μm;倾角仪测量范围与精度分别为±5°, 0.001°;调整机构包含转动滑台与电动平移台,调整范围分别为±5°, 20mm,调整分辨率分别为0.01°, 0.1μm。
在对准过程中,组合测量系统基于倾角仪测量值结合上方夹具之间的位姿关系可求解出两夹具间的αm, t, βm, t对夹具Ⅱ进行调整修正,并保证特征点位于视觉成像系统的视野中。随后对特征点进行成像,并结合图像处理求解出两夹具间的水平方位角γm, t以及位置信息Tm, t, x,Tm, t, z, Tm, t, y,调整机构根据视觉求解信息依次对夹具Ⅱ进行调整,从而间接完成光纤阵列的位姿调整与对准任务。重复上述步骤,可获得多组实验结果, 如图 4所示。图中,光纤阵列与连接头的对准姿态偏差δα, δβ和δγ均小于0.307°,对准径向偏差δx和δz均小于3.75μm。实验结果表明,组合测量系统可以有效地保证光纤阵列及连接头的空间位姿测量精度,进而保证了两零件的对准精度。
为了验证组合测量系统的精度,采用3-D轮廓测量仪对装夹在夹具上的光纤阵列及连接头进行测量,通过获得光纤阵列及连接头的点云数据计算出两零件的空间相对位置(Tc, x, Tc, y, Tc, z)与姿态(αc, βc, γc);在保持相对位姿不变的情况下,再采用本文中构建的组合测量系统进行测量,获得光纤阵列与连接头的空间相对位置(Tm, t, x, Tm, t, y, Tm, t, z)与姿态(α, β, γ),进行多次测量获得对比实验数据,如表 1所示。
relative position combined measurement 3-D profile measuring instrument position error (Tm, t, x, Tm, t, y, Tm, t, z)/mm (Tc, x, Tc, y, Tc, z)/mm (ΔTx, ΔTy, ΔTz)/mm (-3.603, 0.604, 0.912) (-3.601, 0.603, 0.909) (-0.002, 0.001, 0.003) (2.729, 1.579, -0.124) (2.728, 1.577, -0.122) (0.001, 0.002, -0.002) (1.971, 0.013, -0.305) (1.969, 0.011, -0.302) (0.002, 0.002, -0.003) (1.384, 1.004, -0.524) (1.382, 1.003, -0.522) (0.002, 0.001, -0.002) (-1.064, 0.142, 0.917) (-1.062, 0.141, 0.915) (-0.002, 0.001, 0.002) (-0.753, 0.978, 1.392) (-0.752, 0.976, 1.389) (-0.001, 0.002, 0.003) relative attitude combined measurement 3-D profile measuring instrument attitude error (α, β, γ)/(°) (αc, βc, γc)/(°) (Δα, Δβ, Δγ)/(°) (-1.068, 1.978, 1.837) (-1.063, 1.976, 1.833) (-0.005, 0.002, 0.004) (0.175, 2.168, -0.841) (0.172, 2.166, -0.839) (0.003, 0.002, -0.002) (0.976, -2.217, 0.735) (0.974, -2.223, 0.732) (0.002, -0.004, 0.003) (0.909, -1.528, -2.180) (0.908, -1.524, -2.183) (0.001, -0.004, -0.003) (-0.586, -0.335, -0.903) (-0.583, -0.331, -0.898) (-0.003, -0.004, - 0.005) (-0.886, 2.870, 2.081) (-0.882, 2.869, 2.078) (-0.004, 0.001, 0.003) Table 1. Accuracy comparison of two measurement systems
由于验证测试实验中选用的3-D轮廓测量仪的空间坐标点测量精度为(0.5μm, 0.5μm, 0.4μm),通过光纤阵列及连接头结构的点云数据计算出两者的相对空间位姿,其精度远高于光纤阵列对准所要求的适配精度。因此,将3-D轮廓测量仪测得的相对空间位姿作为组合测量系统的参考依据。经过数次测量对比实验表明:光纤阵列与连接头在空间位置为(±3mm, ±2mm, ±2mm)、姿态为(±3°, ±2°, ±3)的范围内,组合测量系统相对于3-D轮廓测量仪的测量结果其位置与姿态的偏差分别小于(±2μm, ±2μm, ±3μm), (±0.005°, ±0.004°, ±0.005°),验证了本文中构建的组合测量系统能够很好地满足光纤阵列与连接头在自动瞄准过程中的空间相对位姿的测量要求。