半导体全向反射镜与光器件集成
-
摘要: 全向薄膜反射镜是一种多层薄膜:这种薄膜对于某一特定的波长,其入射角反射率范围可从正入射变化到90°入射.韩国汉城国立大学的研究人员利用复合半导体材料制作了这样一个反射镜.分子束外延制造工艺的优点在于有极高的重复性;另外,在激光和光电二极管的基底上同样可生产出这样的半导体镀膜.先培养4组GaAs/AlAs层,然后用湿热氧化法,将AlAs涂层氧化为氧化铝.GaAs和氧化后的AlAs涂层的一般厚度分别是65nm和145nm.在实验中发现,对于TM偏振光来说,它的全方位反射范围锁定在一个非常窄的波段(主要集中在900nm);对于TE光来说,波长范围则从900nm扩大到了1100nm.
-
计量
- 文章访问数: 1
- HTML全文浏览量: 0
- PDF下载量: 0
下载: