MOPA结构准分子激光系统的同步控制

钱小东; 李皙茹; 梁勖; 鲍健; 张铄

doi:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.02.019

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MOPA结构准分子激光系统的同步控制

钱小东 , 李皙茹 , 梁勖 , 鲍健 , 张铄

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引用本文:

Citation:

MOPA结构准分子激光系统的同步控制

1.
中国科学院安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031

作者简介: 钱小东(1987-),男,硕士研究生,现从事嵌入式与电子学的研究。.

通讯作者: 鲍健, baojian_@sohu.com ;

基金项目:
国家科技重大专项基金资助项目(2013ZX02202004)
中图分类号: TN248.2

Synchronous control for MOPA excimer laser systems

1.
Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Science, Hefei 230031, China

Corresponding author: BAO Jian, baojian_@sohu.com ;

CLC number: TN248.2

摘要: 为了使主振荡功率放大结构的ArF准分子激光器实现双腔同步放电,采用同步逻辑快速响应双腔放电时序,根据同步控制逻辑自动对双腔延时进行精密调节,使用四位二进制计数器实现粗调搜索,快速缩小双腔延时差,而使用通用数字可编程延时芯片来实现小精度延时调节。结果表明,双腔放电同步调节之后,放电时差稳定在23ns左右,同步抖动小于±3ns,满足4kHz高重复频率下主振荡功率放大结构准分子激光器同步控制的要求。
- 激光器 /
- 同步控制 /
- 同步逻辑 /
- 粗调延时 /
- 细调延时
Abstract: In order to achieve synchronous discharge of dual-chambers of an ArF excimer laser based on master oscillation power amplifier(MOPA) structure, synchronization logic was used to respond to dual-chamber discharge timing sequence quickly. According to synchronization control logic, an automatic precision adjustment to dual-chamber delay was made. Coarse search was implemented by using a high-speed synchronous modulo-16 binary counter and dual-chamber delay difference was narrowed quickly. Small precision delay adjustment was achieved by using universal digital programmable delay chip. The results show that discharge time differences steadies at about 23ns less than ±3ns synchronization jitter after dual-chamber discharge synchronous adjustment. It can meet MOPA structure excimer laser synchronous control requirements under high repetition frequency of 4kHz.
- lasers /
- synchronous control /
- synchronous logic /
- coarse delay /
- fine delay

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MOPA结构准分子激光系统的同步控制

通讯作者: 鲍健, baojian_@sohu.com;

作者简介: 钱小东(1987-),男,硕士研究生,现从事嵌入式与电子学的研究。

1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031

收稿日期: 2014-02-26
录用日期: 2014-03-18
网络出版日期: 2015-03-25

基金项目: 国家科技重大专项基金资助项目(2013ZX02202004)

关键词:

摘要: 为了使主振荡功率放大结构的ArF准分子激光器实现双腔同步放电,采用同步逻辑快速响应双腔放电时序,根据同步控制逻辑自动对双腔延时进行精密调节,使用四位二进制计数器实现粗调搜索,快速缩小双腔延时差,而使用通用数字可编程延时芯片来实现小精度延时调节。结果表明,双腔放电同步调节之后,放电时差稳定在23ns左右,同步抖动小于±3ns,满足4kHz高重复频率下主振荡功率放大结构准分子激光器同步控制的要求。