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高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究

王效顺 梁勖 游利兵 赵家敏 方晓东

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高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究

    作者简介: 王效顺(1983- ),男,博士研究生,现从事准分子激光器自动控制方面的研究。.
    通讯作者: 方晓东, xdfang@aiofm.ac.cn
  • 中图分类号: TN248.2;TP13

Study on energy control algorithm for high-repetition-rate ArF excimer lasers

    Corresponding author: FANG Xiao-dong, xdfang@aiofm.ac.cn
  • CLC number: TN248.2;TP13

  • 摘要: 为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-04-06
  • 录用日期:  2012-04-11
  • 刊出日期:  2012-11-25

高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究

    通讯作者: 方晓东, xdfang@aiofm.ac.cn
    作者简介: 王效顺(1983- ),男,博士研究生,现从事准分子激光器自动控制方面的研究。
  • 1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 合肥230031

摘要: 为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。

English Abstract

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