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使用双波带板径向剪切干涉仪检测非球面透镜

张斌 马力 王鸣 贺安之

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使用双波带板径向剪切干涉仪检测非球面透镜

    作者简介: 张斌(1978- ),男,博士研究生,主要从事光学检测技术的研究..
    通讯作者: 贺安之, haz@mail.njust.edu.cn
  • 中图分类号: O438

Aspheric lens testing by means of compact radial shearing interferometer with two zone plates

    Corresponding author: HE An-zhi, haz@mail.njust.edu.cn
  • CLC number: O438

  • 摘要: 为了实现对光学非球面的低成本在线测量,在比较和分析现有非球面检测技术的基础上,设计并制作了一种小型径向剪切干涉仪用于检测非球面透镜。基于波带板可以聚焦成像的原理,该干涉仪采用不同焦距的双波带板产生径向剪切干涉。波带板由工业缩微矢量图制版技术设计和制作而成,并通过实验验证了该波带板的聚焦精度。采用傅里叶变换条纹相位分析法对干涉条纹进行处理,计算出波相差和波面面形。实验中给出了平面波光束经过一个非球面透镜后的波面面形检测结果和误差分析,使用该技术对标准非球面进行测试,波差峰谷值(P-V)达到了λ/5的精度,均方差(RMS)达到λ/10的精度。结果表明,该干涉仪具有体积小、抗干扰能力强等特点,适用于对小型非球面透镜进行在线检测。
  • [1]

    HANDOJO A,FRANKENA H J.Testing aspheric surfaces:simple method with a circular stop[J].Appl Opt,1998,37 (25):5969~5973.
    [2]

    ZHANG X Q,ZHU L Q,DONG M L.A new method of surface shape measurement of aspheric optical components[J].Tool Engineering,2001,35 (4):24~27 (in Chinese).
    [3]

    HOU X,WU F,WU Sh B et al.Study on the measurement of large-aperture aspheric surfaces with annular sub-aperture scanning method[J].Opto-electronic Engineering,2004,31 (9):26~28 (in Chinese).
    [4]

    KEIICHI Y.Ultrahigh accurate 3-D profilometer using atomic force probe[J].Journal of the Society of Grinding Engineering,2001,45(12):562~565.
    [5]

    TOMLINSON R,COUPLAND J M,PETZING J.Synthetic aperture interferometry:in-process measurement of aspheric optics[J].Appl Opt,2003,42(4):701~707.
    [6]

    HWANG T J,KIM S W.Diffraction-grating interferometer for testing aspheric concave mirrors with optimization of fringe visibility[J].Opt Engng,2004,43 (9):2124~2128.
    [7]

    XI Q K,ZHU R H,GAO Zh Sh et al.Test aspheric with CGH based on a liquid crystal display[J].Proc SPIE,2005,5638:694~697.
    [8]

    REICHELT S,PRUB C,TIZIANI H J.New design techniques and calibration methods for CGH-null testing of aspheric surfaces[J].Proc SPIE,2002,4778:158~168.
    [9]

    CHANG J,LI F Y,WENG Zh Ch et al.Testing large convex aspherical surface with computer generated holography[J].Acta Optica Sinica,2003,23 (10):1266~1268 (in Chinese).
    [10]

    LIN Y,SCHILL J,WANG R W.Precision evaluation of a commonpath interferometer in measurement of optical surfaces[J].Acta Optica Sinica,1994,14 (1):55~61 (in Chinese).
    [11]

    KOHNO T,MATSUMOTO D,YAZAWA T et al.Radial shearing interoferometer for in-process measurement of damond turning[J].Opt Engng,2000,39(10):2696~2699.
    [12]

    WANG M,ZHANG B,SHOUPING N et al.Radial shearing interferometer for aspheric surface testing[J].Proc SPIE,2002,4927:673~676.
    [13]

    LID H,ZHAO X F,CHEN H X et al.Algorithm study of wavefront reconstruction based on the cyclic radial shear interferometer[J].High Power Laser and Particle Beams,2002,14 (2):223~227 (in Chinese).
    [14]

    ZHANG Y X,ZHU T,XU Zh Y et al.Dislocation and branch point in optical front-Ⅰ structure theory[J].Laser Technology,2002,26(2):97~101 (in Chinese).
    [15]

    ZHONG J A,WANG M,LI D aCh.Fourier transform moire deflectometry for the automatic measurement of gas temperature field[J].Chinese Journal of Lasers,1997,24 (3):276~280 (in Chinese).
    [16]

    ZHANG L,LIU S N,LIN D Y et al.The progress of extracting phase information based on spatial carrier fringe pattern analysis[J].Laser Technology,2005,29 (1):90~93 (in Chinese).
  • [1] 刘晓军高咏生 . 激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析. 激光技术, 2006, 30(4): 337-339,343.
    [2] 陈凤超黄佐华李榕 . 干涉直条纹周期测量及其在位相检测中的应用. 激光技术, 2008, 32(1): 105-108.
    [3] 谭中奇龙兴武 . 腔长变化对连续波腔衰荡技术测量的影响. 激光技术, 2007, 31(4): 438-441.
    [4] 谭中奇龙兴武 . 用于连续波腔衰荡法测量的LD驱动电路设计. 激光技术, 2008, 32(1): 27-29,56.
    [5] 田静怡巩马理闫平崔瑞桢韦宁 . 0.85数值孔径双非球面单片物镜的设计. 激光技术, 2005, 29(2): 116-118.
    [6] 易亨瑜叶一东向汝建张家如彭勇 . 阵列透镜测量仪的设计与应用分析. 激光技术, 2006, 30(6): 589-592.
    [7] 郭昀曹明翠罗志祥罗风光 . 多功能插损回损测量仪的设计. 激光技术, 2007, 31(5): 548-550.
    [8] 朱海宇马军张鸿佳王文生 . 刑侦日盲紫外折衍混合变焦光学系统设计. 激光技术, 2015, 39(2): 242-246. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.02.021
    [9] 李鹏飞朱向冰陈壮壮 . 轻小型头戴显示器的光学设计. 激光技术, 2021, 45(2): 202-207. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.02.013
    [10] 于远航王文生 . 折衍混合紫外告警光学系统设计. 激光技术, 2012, 36(3): 421-423,427.
    [11] 陈壮壮朱标宫明艳翟从鸿朱向冰 . 沉浸式头戴显示器光学系统设计. 激光技术, 2021, 45(4): 470-474. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.04.010
    [12] 庄亚宝朱向冰刘杰李鹏飞 . 大视场虚拟现实头戴显示器光学结构设计. 激光技术, 2022, 46(4): 486-491. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2022.04.008
    [13] 程冠晓李国华彭捍东郝殿中 . 相关检测法宽光谱消光比智能化测试系统. 激光技术, 2006, 30(2): 161-164.
    [14] 张靖朱大勇贾晓东 . 用共线点列标定摄像机镜头畸变. 激光技术, 2006, 30(2): 221-224.
    [15] 王磊伯梅高隽偶春生黄元庆 . 基于智能相机的高速三维表面信息获取. 激光技术, 2006, 30(6): 657-660.
    [16] 陈金玲李红斌刘延冰 . 两种类型的光学电流传感头的灵敏度比较. 激光技术, 2007, 31(4): 378-380,383.
    [17] 王其祥 . 激光非球面物镜的设计. 激光技术, 1980, 4(1): 9-13.
    [18] 何勇王青陈进榜吴桢 . 三平板剪切干涉仪自动测试系统. 激光技术, 2003, 27(3): 226-228,232.
    [19] 朱猛李翔宇李秀明黄战华 . 反远距成像相移剪切散斑干涉检测系统. 激光技术, 2014, 38(1): 49-53. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.01.011
    [20] 李殿军梁思远曹建建 . 非球面伽利略扩束系统实现激光束空间整形. 激光技术, 2008, 32(4): 427-429.
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-12-26
  • 录用日期:  2006-03-10
  • 刊出日期:  2007-02-25

使用双波带板径向剪切干涉仪检测非球面透镜

    通讯作者: 贺安之, haz@mail.njust.edu.cn
    作者简介: 张斌(1978- ),男,博士研究生,主要从事光学检测技术的研究.
  • 1. 南京理工大学, 信息物理与工程系, 南京, 210014;
  • 2. 南昌大学, 物理实验中心, 南昌, 330047;
  • 3. 南京师范大学, 物理科学与技术学院, 南京, 210097

摘要: 为了实现对光学非球面的低成本在线测量,在比较和分析现有非球面检测技术的基础上,设计并制作了一种小型径向剪切干涉仪用于检测非球面透镜。基于波带板可以聚焦成像的原理,该干涉仪采用不同焦距的双波带板产生径向剪切干涉。波带板由工业缩微矢量图制版技术设计和制作而成,并通过实验验证了该波带板的聚焦精度。采用傅里叶变换条纹相位分析法对干涉条纹进行处理,计算出波相差和波面面形。实验中给出了平面波光束经过一个非球面透镜后的波面面形检测结果和误差分析,使用该技术对标准非球面进行测试,波差峰谷值(P-V)达到了λ/5的精度,均方差(RMS)达到λ/10的精度。结果表明,该干涉仪具有体积小、抗干扰能力强等特点,适用于对小型非球面透镜进行在线检测。

English Abstract

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