高速脊波导激光器寄生电容的分析

孟桂超; 陈国鹰; 安振峰; 张世祖; 韩威

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高速脊波导激光器寄生电容的分析

孟桂超 , 陈国鹰 , 安振峰 , 张世祖 , 韩威

文章导航 > 激光技术 > 2007 > 31(1): 98-101

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Citation:

高速脊波导激光器寄生电容的分析

1.
河北工业大学, 信息学院, 天津, 300130;
2.
信息产业部, 电子第13研究所, 石家庄, 050051

作者简介: 孟桂超(1979- ),女,硕士研究生,主要从事半导体激光器的研究..

通讯作者: 陈国鹰, cheng.y.@263.net ;

基金项目:
国家自然科学基金资助项目(60476025);河北省自然科学基金资助项目(F2005000084603080)
中图分类号: TN248.4

Analysis of parasitic capacitance of high speed ridge waveguide laser

1.
College of Information, Hebei University of Technology, Tianjin 300130, China;
2.
The 13th Electronic Research Institute, Ministry of Information Industry, Shijiazhuang 050051, China

Corresponding author: CHEN Guo-ying, cheng.y.@263.net ;

CLC number: TN248.4

摘要: 高速调制半导体激光器光源是光纤通信系统、相控阵雷达等的关键器件。高速激光器的寄生电容是影响其调制带宽的因素之一。为了减小寄生电容,针对脊波导结构激光器的电容,采用计算机模拟与实际测试相结合的方法,进行了理论分析和实验验证。结果表明,其寄生电容大小不仅与电极金属化面积有关,还与隔离沟的腐蚀深度有关。当腐蚀至波导层时,寄生电容减小到10pF以下。这一结论对实现激光器的高速调制是非常有意义的。
- 激光器 /
- 金属化 /
- 腐蚀 /
- 寄生电容 /
- 调制带宽
Abstract: The high-speed modulated semiconductor lasers are the key devices in the system of high-speed fiber communication and phase control radar systems,etc.The parasitic capacitance of the high speed laser is one of those factors which affect the modulation bandwidth.In order to reduce it,the capacitance of the ridge waveguide structure was analyzed and tested,computer simulation was performed.A conclusion is made that capacitance's value is related to not only the eroded depth of the insulation channel but also the area of the metallization,which is important for the realization of the high-speed modulation of the laser.

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高速脊波导激光器寄生电容的分析

通讯作者: 陈国鹰, cheng.y.@263.net;

作者简介: 孟桂超(1979- ),女,硕士研究生,主要从事半导体激光器的研究.

1. 河北工业大学, 信息学院, 天津, 300130;
2. 信息产业部, 电子第13研究所, 石家庄, 050051

收稿日期: 2005-12-05
录用日期: 2006-02-28
网络出版日期: 2007-02-25

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(60476025);河北省自然科学基金资助项目(F2005000084603080)

关键词:

摘要: 高速调制半导体激光器光源是光纤通信系统、相控阵雷达等的关键器件。高速激光器的寄生电容是影响其调制带宽的因素之一。为了减小寄生电容,针对脊波导结构激光器的电容,采用计算机模拟与实际测试相结合的方法,进行了理论分析和实验验证。结果表明,其寄生电容大小不仅与电极金属化面积有关,还与隔离沟的腐蚀深度有关。当腐蚀至波导层时,寄生电容减小到10pF以下。这一结论对实现激光器的高速调制是非常有意义的。