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氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究

秦玉伟

引用本文:
Citation:

氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究

    作者简介: 秦玉伟(1979-),男,讲师,博士,主要研究方向为传感器与光电检测技术。E-mail:qinyuwei@163.com.
  • 基金项目:

    陕西省军民融合研究基金资助项目(13JMR18);陕西省教育厅科学研究计划资助项目(12JK0672);陕西省科技厅国际交流合作资助项目(2013KW04-03)

  • 中图分类号:

    TN247

Study on optical coherence tomography detection of ZnO film

  • CLC number:

    TN247

  • 摘要: 为了实现对氧化锌薄膜的厚度测量,采用光学相干层析成像的方法进行了理论分析和实验验证,获得了含厚度信息的1维深度图像和含内部结构信息的2维层析图像。结果表明,该方法测得的薄膜厚度值与理论值一致。该研究说明谱域光学相干层析成像技术的测量结果真实有效,可以用于薄膜的厚度测量和质量检测。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-11-06
  • 录用日期:  2013-11-11
  • 刊出日期:  2014-11-25

氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究

    作者简介: 秦玉伟(1979-),男,讲师,博士,主要研究方向为传感器与光电检测技术。E-mail:qinyuwei@163.com
  • 1. 渭南师范学院 物理与电气工程学院, 渭南 714000
基金项目:  陕西省军民融合研究基金资助项目(13JMR18);陕西省教育厅科学研究计划资助项目(12JK0672);陕西省科技厅国际交流合作资助项目(2013KW04-03)

摘要: 为了实现对氧化锌薄膜的厚度测量,采用光学相干层析成像的方法进行了理论分析和实验验证,获得了含厚度信息的1维深度图像和含内部结构信息的2维层析图像。结果表明,该方法测得的薄膜厚度值与理论值一致。该研究说明谱域光学相干层析成像技术的测量结果真实有效,可以用于薄膜的厚度测量和质量检测。

English Abstract

参考文献 (11)

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