具有介质电极的高频放电

丘军林

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具有介质电极的高频放电

丘军林

文章导航 > 激光技术 > 1995 > 19(5): 274-276

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具有介质电极的高频放电

丘军林

1.
华中理工大学激光研究所, 武汉, 430074

High frequency discharge with dielectric electrode

Qiu Junlin

1.
Institute of Laser, HUST

摘要: 本文对具有介质电极的高频放电进行了讨论,对频率、介电常数对放电的影响,阻抗匹配等基本问题进行了探讨。
- 介质电极 /
- 高频放电 /
- 阻抗匹配
Abstract: The paper discusses high frequency discharge with dielectric electrode,emphasizing on the basic issues relating to the influence of frequency,dielectric constant on discharge and impedance match.
- dielectric electrode /
- high frequency discharge /
- impedance match

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