100W XeCl准分子激光器的放电特性

方晓东; 余吟山; 汪建业

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100W XeCl准分子激光器的放电特性

方晓东 , 余吟山 , 汪建业

文章导航 > 激光技术 > 1997 > 21(4): 255-256

引用本文:

Citation:

100W XeCl准分子激光器的放电特性

1.
中国科学院, 安徽光学精密机械研究所, 合肥, 230031

Discharge performances of a 100W XeCl excimer laser

1.
Anhui Institute of Optics and Fine Machenics, Academia Sinica, Hefei, 230031

摘要: 通过对一台放电泵浦的100WXeCl准分子激光器进行实验,给出了放电波形和放电能量在激光气体中的耦合情况。
- XeCl准分子激光器 /
- 放电特性 /
- 能量沉积
Abstract: This paper presents the experimental results of the discharge waveform and energy deposition properties of a 100W XeCl excimer laser.According to these measured data,the energy coupling efficiency of the laser is about 40%.
- XeCl excimer laser /
- discharge performances /
- energy deposition

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