石英玻璃薄板激光精密切割技术

袁明权; 凌宏芝; 彭勃

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

石英玻璃薄板激光精密切割技术

袁明权 , 凌宏芝 , 彭勃

文章导航 > 激光技术 > 2006 > 30(4): 406-408

引用本文:

Citation:

石英玻璃薄板激光精密切割技术

1.
中国工程物理研究院, 电子工程研究所, 绵阳, 621900

作者简介: 袁明权(1972- ),男,工学硕士,助理研究员,目前主要从事惯性传感器与MEMS技术研究工作.E-mail:mq_yuan@163.com.

基金项目:
国防科技"十五"预研基金重点资助项目(421010401)
中图分类号: TG485;TN249

Precision laser cutting technique for thin quartz glass plates

1.
Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China
CLC number: TG485;TN249

摘要: 为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法.通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm～20μm范围内.对石英玻璃薄板的激光精密切割进行了实验验证,实验结果表明,激光精密切割技术能够较好地运用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度优于20μm、中心对称度小于μm.这一结果和激光源选择方法对石英材料激光精密加工技术研究及其设备研制是有帮助的.
- 激光技术 /
- 激光精密切割 /
- 石英玻璃薄板 /
- 光学吸收率
Abstract: For laser cutting thin quartz glass plates precisely,its principle is discussed,how to choose laser cutting equipment is introduced according to the quartz glass' optical transmissivity,i.e.,the laser's wave length should be in 5μm～20μm for laser cutting application.The specimen laser cutting experiments show that it is feasible to cut thin quartz glass plates pricisely with laser cutting technique with accuracy of better than 20μm and central symmetry of less than 3μm.The experimental results and choosing method are helpful for precision quartz laser cutting application and development of laser cutting equipment.
- laser technique /
- precision laser cutting /
- thin quartz glass plates /
- optical absorptivity

[1]	XIE X Zh,LI L J,ZHANG Y et al.Newly developed technique of laser cutting thick metal plates[J].Laser Technology,2005,29(3):251～254(in Chinese).
[2]	WANG X D,ZHAO X M,WANG Sh L et al.The study on dynamic and high speed laser drilling system[J].Laser Technology,2003,27(6):563～566(in Chinese).
[3]	WEN X M,SHI M X,YANG X L.Study of marking to enamelware with excimer laser[J].Laser Technology,2000,24(1):9～11(in Chinese).
[4]	LEI H D,WANG B R,HUANG W R et al.Laser conducting-limited welding of thin-wall HR-2 steel parts[J].Laser Technology,2005,29(1):28～31,34(in Chinese)
[5]	GUO Z X,SHEN P,HU J D et al.A study on laser reaction sintering of Cu-Al system powder compacts[J].Laser Technology,2005,29(1):11～13(in Chinese)
[6]	WANG A H,XIE Ch Sh,WU R.Present status and prospect of laser surface modification of refractory materials[J].Laser Technology,2002,26(6):413～415,418(in Chinese).
[7]	JI G Sh,ZHANG Y K.Laser polishing of chemically vapor-deposited diamond films[J].Laser Technology,2003,27(2):106～109(in Chinese).
[8]	ZHANG Y K,ZHOU J Zh,YE Y X.Laser processing technology[M].Beijing:Chemical Industry Press,2004.12～15,23～26(in Chinese).
[9]	ZHANG Y J,FANG M G.The study on the solid laser precise cutting technology[J].Laser Infrared,2004,34(3):192～193(in Chinese).
[10]	LI X Y,ZENG X Y,LIU Y et al.Study of YAG laser cutting process with stainless steel sheet[J].Chinese Journal of Lasers,2001,A28(12):1125～1129(in Chinese).
[11]	CAO B,ZHANG H O,WANG G L.The study on metal parts fabricating by laser precision cutting[J].New Technology New Process,2004(9):40～41(in Chinese).
[12]	CHEN Zh.Laser precision process technology and it's applications[J].New Technology New Process,2002(8):27～29(in Chinese).
[13]	JIANG Ch,WANG Y Q.Experimental study on precision machining K9 glass by KrF excimer laser[J].Electromachining Mould,2003(2):16～18(in Chinese).
[14]	SHI J,YANG H L,ZHANG X B.Application study on new method of laser precise drilling of ceramic material[J].Applied Laser,2005,25(3):53～55(in Chinese).
[15]	LUXON J T,PARKER D E.Industrial lasers and their applications[M].Eaglewood Cliffs:Prentice-Hall,1985.200～219.

[1]	陈君 , 张群莉 , 姚建华 , 傅纪斌 . 材料表面粗糙度对激光吸收率影响的研究. 激光技术, 2008, 32(6): 624-627.
[2]	陈彦北 , 陆建 , 倪晓武 , 徐立君 , 张喜和 . 3种吸收率模型的金属激光加热数值研究比较. 激光技术, 2009, 33(6): 622-625. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.06.018
[3]	陈君 , 张群莉 , 姚建华 , 傅纪斌 . 外加电场对金属材料激光吸收率的影响. 激光技术, 2009, 33(2): 121-123.
[4]	何广涛 , 魏昕 , 谢小柱 , 谭伟明 , 宋悠全 . 蓝宝石对532nm激光吸收率的实验测量. 激光技术, 2011, 35(1): 54-57. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.01.016
[5]	汪旭煌 , 姚建华 , 周国斌 , 楼程华 , 杨渊思 . 基于热裂法的液晶玻璃基板激光切割技术研究. 激光技术, 2011, 35(4): 472-476. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.04.009
[6]	丛启东 , 袁根福 , 章辰 , 郭百澄 . 钡化合物辅助激光刻蚀石英玻璃的实验研究. 激光技术, 2018, 42(3): 351-356. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.03.012
[7]	焦俊科 , 王新兵 , 卢宏 . 石英玻璃在激光作用下的温度与应力场分析. 激光技术, 2007, 31(4): 427-430.
[8]	姚龙元 , 刘畅 . 飞秒激光烧蚀减薄石英玻璃研究进展. 激光技术, 2023, 47(3): 345-352. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.03.010
[9]	杨保健 , 谢顺德 , 代福 . 微水导激光切割玻璃的耦合装置设计. 激光技术, 2017, 41(2): 247-250. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.02.020
[10]	马响 , 邓勇 , 张书练 . 激光回馈半钢化玻璃应力双折射测量技术. 激光技术, 2020, 44(3): 371-376. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.03.018
[11]	庞继伟 , 王超 , 蔡玉奎 . 玻璃材料激光加工技术的研究进展. 激光技术, 2021, 45(4): 417-428. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.04.003
[12]	黄福民 , 谢小柱 , 魏昕 , 胡伟 , 苑学瑞 . 半导体晶圆激光切割新技术. 激光技术, 2012, 36(3): 293-297.
[13]	王平江 , 吴浩 , 陈吉红 , 唐小琦 . 动光式激光切割无缝拼接技术的研究与应用. 激光技术, 2009, 33(4): 369-373. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.04.010
[14]	童卫红 , 江东 , 周鼎富 , 杨泽后 , 陈涌 , 孙鹏 , 陈云亮 , 陈亦庆 . 化学气体CO2差分吸收激光雷达告警技术的研究. 激光技术, 2007, 31(5): 479-482.
[15]	田国周 , 欧群飞 , 钟鸣 , 叶大华 , 吕百达 . 2kJ高能量钕玻璃激光器的热管理技术分析. 激光技术, 2007, 31(3): 253-256.
[16]	罗振坤 , 王秋华 , 高光煌 , 孙嵘 , 陈宗礼 , 张桂素 . 激光辐射多功能集成防护镜光学特性与复合技术. 激光技术, 2011, 35(4): 486-491. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.04.012
[17]	张永强 , 吴艳华 , 陈武柱 , 张旭东 . 激光切割光辐射与切割质量关系的研究. 激光技术, 2007, 31(4): 397-399,444.
[18]	胡增荣 , 童国权 , 陈长军 , 郭华锋 , 周亮 , 徐家乐 . 激光纳米表面工程技术. 激光技术, 2014, 38(6): 764-770. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.009
[19]	赵兴海 , 高杨 , 程永生 . 激光点火技术综述. 激光技术, 2007, 31(3): 306-310,313.
[20]	贾信庭 , 贺昌玉 , 王又青 . 激光切割系统功率实时控制研究. 激光技术, 2009, 33(2): 145-146,150.

点击查看大图

计量

文章访问数: 3408
HTML全文浏览量: 869
PDF下载量: 408
被引次数: 0

石英玻璃薄板激光精密切割技术

作者简介: 袁明权(1972- ),男,工学硕士,助理研究员,目前主要从事惯性传感器与MEMS技术研究工作.E-mail:mq_yuan@163.com

1. 中国工程物理研究院, 电子工程研究所, 绵阳, 621900

收稿日期: 2005-07-16
录用日期: 2006-01-05
网络出版日期: 2006-07-25

基金项目: 国防科技"十五"预研基金重点资助项目(421010401)

关键词:

摘要: 为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法.通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm～20μm范围内.对石英玻璃薄板的激光精密切割进行了实验验证,实验结果表明,激光精密切割技术能够较好地运用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度优于20μm、中心对称度小于μm.这一结果和激光源选择方法对石英材料激光精密加工技术研究及其设备研制是有帮助的.