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激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析

刘晓军 ,  高咏生

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文章导航 > 激光技术  > 2006 >  30(4): 337-339,343
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shu
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shu

激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析

  • 1.

    华中科技大学, 机械科学与工程学院, 武汉, 430074;

  • 2.

    香港科技大学, 机械工程系, 香港, 九龙

    • 作者简介: 刘晓军(1968- ),男,副教授,主要从事测试计量技术与仪器、光学干涉测量、精密工程、质量工程等领域研究.E-mail:mexjl@tom.com.
  • 基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(50475136)

  • 中图分类号: TH741;TH161

Analysis of characteristics of a lateral shear interferometer for on-machine surface measurement

  • 1.

    College of Mechanical Science & Engineering, HUST, Wuhan 430074, China;

  • 2.

    Department of Mechanical Engineering, Hong Kong University of Science & Technology, Kowloon, HongKong, China

  • CLC number: TH741;TH161

  • 摘要: 为探讨和证明双折射晶体激光剪切干涉仪用于在线表面精密测量的可能性,推导了该干涉仪中光传输和实现表面测量的模型,分析了其抗振特性,模拟了相当的振动条件对其抗振特性进行实验测试.分析和实验证明了该干涉仪具有良好的抗振能力,适合应用于在线表面精密测量.
    Abstract: In order to investigate the possibility of a lateral shear interferometer,which is based on a birefringence crystal shear generator,to be applied to on-machine surface measurement,optical models of the interferometer for light propagation and surface measurement are derived.Its anti-vibration characteristics are analyzed,and a vibration table to simulate different vibration conditions is set up,on which many experiments for surface measurement under different vibration conditions are conducted.The analysis and experimental testing verify the advanced anti-vibration characteristics of the interferometer for on-machine surface measurement.
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-29
  • 录用日期:  2005-09-19
  • 刊出日期:  2006-07-25

激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析

    作者简介: 刘晓军(1968- ),男,副教授,主要从事测试计量技术与仪器、光学干涉测量、精密工程、质量工程等领域研究.E-mail:mexjl@tom.com
  • 1. 华中科技大学, 机械科学与工程学院, 武汉, 430074;
  • 2. 香港科技大学, 机械工程系, 香港, 九龙
  • 收稿日期: 2005-07-29
  • 录用日期: 2005-09-19
  • 网络出版日期: 2006-07-25
基金项目:  国家自然科学基金资助项目(50475136)

摘要: 为探讨和证明双折射晶体激光剪切干涉仪用于在线表面精密测量的可能性,推导了该干涉仪中光传输和实现表面测量的模型,分析了其抗振特性,模拟了相当的振动条件对其抗振特性进行实验测试.分析和实验证明了该干涉仪具有良好的抗振能力,适合应用于在线表面精密测量.

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