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激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析

刘晓军 ,  高咏生

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文章导航 > 激光技术  > 2006 >  30(4): 337-339,343
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shu
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shu

激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析

  • 1.

    华中科技大学, 机械科学与工程学院, 武汉, 430074;

  • 2.

    香港科技大学, 机械工程系, 香港, 九龙

    • 作者简介: 刘晓军(1968- ),男,副教授,主要从事测试计量技术与仪器、光学干涉测量、精密工程、质量工程等领域研究.E-mail:mexjl@tom.com.
  • 基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(50475136)

  • 中图分类号: TH741;TH161

Analysis of characteristics of a lateral shear interferometer for on-machine surface measurement

  • 1.

    College of Mechanical Science & Engineering, HUST, Wuhan 430074, China;

  • 2.

    Department of Mechanical Engineering, Hong Kong University of Science & Technology, Kowloon, HongKong, China

  • CLC number: TH741;TH161

  • 摘要: 为探讨和证明双折射晶体激光剪切干涉仪用于在线表面精密测量的可能性,推导了该干涉仪中光传输和实现表面测量的模型,分析了其抗振特性,模拟了相当的振动条件对其抗振特性进行实验测试.分析和实验证明了该干涉仪具有良好的抗振能力,适合应用于在线表面精密测量.
    Abstract: In order to investigate the possibility of a lateral shear interferometer,which is based on a birefringence crystal shear generator,to be applied to on-machine surface measurement,optical models of the interferometer for light propagation and surface measurement are derived.Its anti-vibration characteristics are analyzed,and a vibration table to simulate different vibration conditions is set up,on which many experiments for surface measurement under different vibration conditions are conducted.The analysis and experimental testing verify the advanced anti-vibration characteristics of the interferometer for on-machine surface measurement.
  • [1]

    HARIHARAN P.Interferometric testing of optical surfaces:Absolute measurements of flatness[J].Opt Engng,1997,36(9):2478～2481.
    [2]

    MALACARA D.Optical shop testing[M].2nd ed,New York:John Wiley Sons Inc,1992.123～172.
    [3]

    EUGENIO G,FRINS M.Phase-shifting shearing interferometry with a variable polarization grating recorded on Bacteriorhodopsin[J].Opt Commun,2004,241:309～314.
    [4]

    LEIBBRANDT G W R,HARBERS G,KUNST P J.Wave front analy-sis with high accuracy by use of a double-grating lateral shearing interferometer[J].Appl Opt,1996,35(31):6151～6161.
    [5]

    ANGELIS M,NICOLA S,FERRARO P et al.Test of a conical lens using a two-beam shearing interferometer[J].Opt Lasers in Engng,2003,39(2):155～163.
    [6]

    IWATA K,KIKUTA H.Measurement of dynamic flow field by optical computed tomography with shearing interferometers[J].Optical Review,2000,7(5):415～419.
    [7]

    KIM S W,CHO W J,KIM B C.Lateral shearing interferometer using square prisms for optical testing of aspheric lenses[J].Measurement Science Technology,1998,9(7):1129～1136.
    [8]

    LI P.A two-plate interferometer and its interference pattern[J].Journal of Modern Measurement,2001,9(2):25～30(in Chinese).
    [9]

    HE Y,WANG Q,CHEN J et al.Triangular shearing interferometer automatic test system[J].Laser Technology,2003,27(3):226～228(in Chinese).
    [10]

    LIU X J,CHANG M,ZHOU L.A new style of shear generator[J].Chinese Journal of Optics Precision Engineering,1999,7(3):103～108(in Chinese).
    [11]

    LIU X J,CHANG M,LI Zh.A common-path phase-shifting shearing interferometer[J].Journal of Huazhong University of Seience Technology,1999,27(3):16～18(in Chinese).
    [12]

    GOODMAN J W.Introduction to Fourier optics[M].2nd ed,New York:McGRAW-HILL Companies,1996.96～120.
  • [1] 张斌 , 马力 , 王鸣 , 贺安之 . 使用双波带板径向剪切干涉仪检测非球面透镜. 激光技术, 2007, 31(1): 37-40,46.
    [2] 易亨瑜 , 叶一东 , 向汝建 , 张家如 , 彭勇 . 阵列透镜测量仪的设计与应用分析. 激光技术, 2006, 30(6): 589-592.
    [3] 陈凤超 , 黄佐华 , 李榕 . 干涉直条纹周期测量及其在位相检测中的应用. 激光技术, 2008, 32(1): 105-108.
    [4] 谭中奇 , 龙兴武 . 用于连续波腔衰荡法测量的LD驱动电路设计. 激光技术, 2008, 32(1): 27-29,56.
    [5] 谭中奇 , 龙兴武 . 腔长变化对连续波腔衰荡技术测量的影响. 激光技术, 2007, 31(4): 438-441.
    [6] 郭昀 , 曹明翠 , 罗志祥 , 罗风光 . 多功能插损回损测量仪的设计. 激光技术, 2007, 31(5): 548-550.
    [7] 易亨瑜 , 齐予 , 黄吉金 . 舰载激光武器的研制进展. 激光技术, 2015, 39(6): 834-839. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.06.022
    [8] 王磊 , 伯梅 , 高隽 , 偶春生 , 黄元庆 . 基于智能相机的高速三维表面信息获取. 激光技术, 2006, 30(6): 657-660.
    [9] 张靖 , 朱大勇 , 贾晓东 . 用共线点列标定摄像机镜头畸变. 激光技术, 2006, 30(2): 221-224.
    [10] 程冠晓 , 李国华 , 彭捍东 , 郝殿中 . 相关检测法宽光谱消光比智能化测试系统. 激光技术, 2006, 30(2): 161-164.
    [11] 陈金玲 , 李红斌 , 刘延冰 . 两种类型的光学电流传感头的灵敏度比较. 激光技术, 2007, 31(4): 378-380,383.
    [12] 董正琼 , 黄贤文 , 徐仁 , 祝仁龙 , 周向东 , 聂磊 . 基于四波横向剪切干涉的表面形貌测量方法. 激光技术, 2024, 48(6): 906-912. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2024.06.017
    [13] 罗宇恒 , 万恩来 , 刘玉柱 . 利用LIBS技术对电烙铁的烟雾进行在线分析. 激光技术, 2022, 46(5): 663-667. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2022.05.014
    [14] 刘旗 , 邱选兵 , 张恩华 , 李杰 , 郭古青 , 李传亮 , 臧振中 , 杨明 . 基于频谱分析的中药浊度在线传感器研究. 激光技术, 2021, 45(4): 456-462. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.04.008
    [15] 何勇 , 王青 , 陈进榜 , 吴桢 . 三平板剪切干涉仪自动测试系统. 激光技术, 2003, 27(3): 226-228,232.
    [16] 朱猛 , 李翔宇 , 李秀明 , 黄战华 . 反远距成像相移剪切散斑干涉检测系统. 激光技术, 2014, 38(1): 49-53. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.01.011
    [17] 陈根余 , 陈冲 , 卜纯 , 贾天阳 . 激光在线修整青铜金刚石砂轮数值仿真与试验. 激光技术, 2012, 36(4): 433-437. doi: 10.3969/j.issn.1001-806.2012.04.001
    [18] 江莺 , 段峥 , 张晓丽 , 胡兴柳 . 一组波峰波谷实现光纤环镜传感器在线测量. 激光技术, 2020, 44(5): 587-591. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.05.010
    [19] 盛旭波 , 杨晖 , 李然 , 马生 , 郑刚 , ZIVKOVIC Vladimir . 基于激光在线测量滚筒内颗粒流崩塌角新方法. 激光技术, 2016, 40(3): 344-348. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.03.009
    [20] 江莺 , 段峥 , 张晓丽 , 胡兴柳 . 双折射光纤环镜应变传感器在线测量方法研究. 激光技术, 2020, 44(3): 315-320. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.03.008
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-29
  • 录用日期:  2005-09-19
  • 刊出日期:  2006-07-25

激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析

    作者简介: 刘晓军(1968- ),男,副教授,主要从事测试计量技术与仪器、光学干涉测量、精密工程、质量工程等领域研究.E-mail:mexjl@tom.com
  • 1. 华中科技大学, 机械科学与工程学院, 武汉, 430074;
  • 2. 香港科技大学, 机械工程系, 香港, 九龙
  • 收稿日期: 2005-07-29
  • 录用日期: 2005-09-19
  • 网络出版日期: 2006-07-25
基金项目:  国家自然科学基金资助项目(50475136)

摘要: 为探讨和证明双折射晶体激光剪切干涉仪用于在线表面精密测量的可能性,推导了该干涉仪中光传输和实现表面测量的模型,分析了其抗振特性,模拟了相当的振动条件对其抗振特性进行实验测试.分析和实验证明了该干涉仪具有良好的抗振能力,适合应用于在线表面精密测量.

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