Nd：YAG激光器切割硅薄膜太阳能电池的工艺参数研究

刘源; 李正佳; 吴奇彬

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Nd：YAG激光器切割硅薄膜太阳能电池的工艺参数研究

刘源 , 李正佳 , 吴奇彬

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Nd：YAG激光器切割硅薄膜太阳能电池的工艺参数研究

1.
华中科技大学, 激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074;
2.
华中科技大学, 光电子工程系, 武汉, 430074

作者简介: 刘源(1979- ),女,硕士研究生,现从事激光与物质相互作用的研究..

通讯作者: 李正佳, zhjli@mail.hust.edu.cn ;

中图分类号: TG485

Research of technical parameters of Nd∶YAG laser scribing silicon film solar cell

1.
National Laborafory of Laser Technology, HUST, Wuhan 430074, China;
2.
Department of Opto-Electronics Engineering, HUST, Wuhan 430074, China

Corresponding author: LI Zheng-jia, zhjli@mail.hust.edu.cn ;

CLC number: TG485

摘要: 结合国内外激光薄膜加工研究结果,从激光与物质相互作用的角度出发,建立激光切割硅薄膜太阳能电池的柱面坐标理论模型。利用Monte Carlo法求得多层薄膜结构的光场分布,进一步用有限元法(fin ite elem entm ethod,FEM)求得柱面坐标下热平衡方程的数值解。得出了能量密度、脉冲形状、重复频率、光斑形状与切割速度以及切割质量之间的关系。
- 激光技术 /
- 切割 /
- 有限元法 /
- 太阳能电池
Abstract: An optical-thermal model in cylindrical coordinate of pulsed laser scribing multi-layer thin film solar cell module is established.Monte Carlo method is employed to obtain the light fluencies rate of multi-layer material.Finite element method(FEM) is used to solve the heat equation in cylindrical coordinate.And the connection of the laser energy density,repeatition frequency,the shape of pulse and facula,scribing rate and scribing quality is obtained.

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Nd：YAG激光器切割硅薄膜太阳能电池的工艺参数研究

通讯作者: 李正佳, zhjli@mail.hust.edu.cn;

作者简介: 刘源(1979- ),女,硕士研究生,现从事激光与物质相互作用的研究.

1. 华中科技大学, 激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074;
2. 华中科技大学, 光电子工程系, 武汉, 430074

收稿日期: 2005-03-07
录用日期: 2005-04-08
网络出版日期: 2006-05-25

关键词:

摘要: 结合国内外激光薄膜加工研究结果,从激光与物质相互作用的角度出发,建立激光切割硅薄膜太阳能电池的柱面坐标理论模型。利用Monte Carlo法求得多层薄膜结构的光场分布,进一步用有限元法(fin ite elem entm ethod,FEM)求得柱面坐标下热平衡方程的数值解。得出了能量密度、脉冲形状、重复频率、光斑形状与切割速度以及切割质量之间的关系。