1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件的损伤效应研究

周维军; 袁永华; 张大勇; 桂元珍; 江继军

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1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件的损伤效应研究

周维军 , 袁永华 , 张大勇 , 桂元珍 , 江继军

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1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件的损伤效应研究

1.
中国工程物理研究院, 流体物理研究所, 绵阳, 621900

作者简介: 周维军(1979- ),男,硕士研究生,主要从事激光对抗以及激光与材料相互作用研究..

通讯作者: 袁永华, yuanyh7693@sina.com ;

中图分类号: O484.5

Research on damage of TiO2/SiO2film induced-by 1.06μm CW laser

1.
Institute of Fluid Physics, CAEP, Mianyang 621900, China

Corresponding author: YUAN Yong-hua, yuanyh7693@sina.com ;

CLC number: O484.5

摘要: 用1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件,在不同强度下测量了激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件引起反射信号幅度随时间的变化,并观察到薄膜从基体材料表面起泡、膜层脱落的现象.研究结果表明,TiO2/SiO2薄膜的反射光信号变化是连续激光辐照薄膜元件产生的热效应引起的;在激光辐照过程中,薄膜元件基体材料产生的热变形差别是基体起泡、脱落的主要原因.
- 连续激光 /
- 薄膜 /
- 热效应 /
- 损伤效应
Abstract: When TiO2/SiO2film is irradiated by difterent 1.06μm CW-Nd:YAG laser radiation,the time history of the signal reflected from the TiO2/SiO2film is measured till a number of foam and pull-off phenomenon on the TiO2/SiO2film surface is observed.The test results indicate the variation of the reflected signal is caused by thermal effect due to laser irradiation and during the laser irradiation,the difference of thermal deformation of the TiO2/SiO2film and substrate is the main cause of the foam and pull-off phenomenon.
- CW laser /
- thin film /
- thermal effect /
- damage effect

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1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件的损伤效应研究

通讯作者: 袁永华, yuanyh7693@sina.com;

作者简介: 周维军(1979- ),男,硕士研究生,主要从事激光对抗以及激光与材料相互作用研究.

1. 中国工程物理研究院, 流体物理研究所, 绵阳, 621900

收稿日期: 2004-10-18
录用日期: 2004-12-13
网络出版日期: 2006-01-25

关键词:

摘要: 用1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件,在不同强度下测量了激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件引起反射信号幅度随时间的变化,并观察到薄膜从基体材料表面起泡、膜层脱落的现象.研究结果表明,TiO2/SiO2薄膜的反射光信号变化是连续激光辐照薄膜元件产生的热效应引起的;在激光辐照过程中,薄膜元件基体材料产生的热变形差别是基体起泡、脱落的主要原因.