微尺度下新型MEMS滤波器的研究

赵继德; 李应良; 马传龙

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微尺度下新型MEMS滤波器的研究

赵继德 , 李应良 , 马传龙

文章导航 > 激光技术 > 2005 > 29(6): 632-635

引用本文:

Citation:

微尺度下新型MEMS滤波器的研究

1.
烟台师范学院, 烟台, 264025;
2.
华信邮电咨询设计研究院有限公司, 杭州, 310014;
3.
重庆通信学院, 重庆, 400039

作者简介: 赵继德(1951- ),男,教授,研究方向为物理与微电子学、射频通信技术,计算机应用等.E-mail:lylde_yeah_net@yeah.net.

中图分类号:
TN713

Design of MEMS coplanar waveguide cavity bandstop filter

1.
Yantai Normal University, Yantai 264025, China;
2.
Huaxin Posts & Communications Consulting Designing Institute Co. Ltd, Hangzhou 310014, China;
3.
Chongqing Institute of Communications, Chongqing 400014, China
CLC number:
TN713

摘要: 分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应.在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据.若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验.
- 微尺度 /
- 微机械技术 /
- 滤波器 /
- 共面波导
Abstract: The MEMS CPW is analyzed,and a novel MEMS designed based on the CPW.The electromagnetism and thermal stress are studied.The parameters of the microscale filter are analyzed,and significant data is obtained for actual MEMS filter.If the design parameters are changed,the different performance of MEMS resonators and filters are obtained.The partial theory and practicality experience of material choice and components design study of wireless communications MEMS devices are provided.
- microscale /
- micro-electro-mechanical systems(MEMS) /
- filter /
- coplanar waveguide(CPW)

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微尺度下新型MEMS滤波器的研究

作者简介: 赵继德(1951- ),男,教授,研究方向为物理与微电子学、射频通信技术,计算机应用等.E-mail:lylde_yeah_net@yeah.net

1. 烟台师范学院, 烟台, 264025;
2. 华信邮电咨询设计研究院有限公司, 杭州, 310014;
3. 重庆通信学院, 重庆, 400039

收稿日期: 2004-08-03
录用日期: 2004-10-11
网络出版日期: 2005-11-25

关键词:

摘要: 分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应.在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据.若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验.