准分子激光光束均匀技术

叶震寰; 楼祺洪; 李红霞; 董景星; 魏运荣

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准分子激光光束均匀技术

叶震寰 , 楼祺洪 , 李红霞 , 董景星 , 魏运荣

文章导航 > 激光技术 > 2005 > 29(2): 207-209,212

引用本文:

Citation:

准分子激光光束均匀技术

1.
中国科学院, 上海光学精密机械研究所, 上海, 201800;
2.
中国科学院, 研究生院, 北京, 100039

作者简介: 叶震寰(1968- ),男,博士研究生,主要从事紫外激光受激喇曼散射及光纤激光的应用研究.楼祺洪,通讯联系人.E-mail:qhlou@mail.shcnc.ac.cn;叶震寰(1968- ),男,博士研究生,主要从事紫外激光受激喇曼散射及光纤激光的应用研究.楼祺洪,通讯联系人.E-mail:qhlou@mail.shcnc.ac.cn.

通讯作者: 楼祺洪, qhlou@mail.shcnc.ac.cn ;

基金项目:
上海市科技发展基金资助项目(021111000)
中图分类号: TN248.2

Beam homogenizing technology for UV excimer laser

1.
Shanghai Institute of Optics & Fine Mechanics, the Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China;
2.
School of Graduate, the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China

Corresponding author: LOU Qi-hong, qhlou@mail.shcnc.ac.cn ;

CLC number: TN248.2

摘要: 由于放电结构及谐振腔的限制,准分子激光光斑呈现不均的分布。介绍了各种均匀器的工作原理,从衡量光束均匀性的各项指标出发,评述分析了各种均匀方法的优缺点及适用范围。
- 准分子激光 /
- 光束均匀 /
- 蝇眼 /
- 光刻
Abstract: Limited by characteristic discharging structure and oscillating cavity,the beam energy profile of the excimer laser appears asymmetrically.The principles of various types of beam homogenizer,as well as specifications scaling the beam uniformity are presented.The pro-and-cons of these different technologies and their different valid applications are also discussed.
- excimer laser /
- homogenizer /
- fly’s eye /
- laser lithography

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