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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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透射光谱法测光栅参数的可行性

张丽娟 ,  傅克祥 ,  麻健勇 ,  谢金 ,  李建龙

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透射光谱法测光栅参数的可行性

  • 1.

    四川大学, 物理系, 成都, 610064

    • 作者简介: 张丽娟(1978- ),女,硕士研究生,主要从事光电信号处理方面的研究.傅克祥,通讯联系人.E-mail:fukexiang168@sina.com;张丽娟(1978- ),女,硕士研究生,主要从事光电信号处理方面的研究.傅克祥,通讯联系人.E-mail:fukexiang168@sina.com.
    通讯作者: 傅克祥, fukexiang168@sina.com ; 

  • 中图分类号: TN253

The feasibility of measuring grating parameters with the transmission spectrum method

  • 1.

    Department of Physics, Sichuan University, Chengdu 610064, China

    • Corresponding author: FU Ke-xiang, fukexiang168@sina.com ;

  • CLC number: TN253

  • 摘要: 利用透射光谱,结合正单纯形法来反演折射率调制光栅参数,首先利用光栅衍射傅里叶模式理论及RTCM算法得出在200nm~900nm波长范围内的透射光谱曲线,从上取5个点,作为理论计算值; 其次,在上述曲线上加入偏差不同的高斯噪声,以模拟透射光谱的测量曲线,再从每条曲线上各取5个对应点,获取模拟测量值;然后,假定光栅参数的初始值,代入评价函数,用正单纯形法不断进行迭代反演,得到光栅参数的计算模拟结果。此方法简单、快速、精确。
    Abstract: A new method,transmission spectrum method combined the normal simplex algorithm,is proposed to measure the grating parameters.Firstly,the transmission spectrum of the range from 200nm~900nm is obtained according to a certain grating model with the Fourier model method and reflection and tran smission coefficient matrix method (RTCM),based on which the Gaussian noises with different standard deviations are added to it to get the simulated measuring value of transmission spectrum,then five points are gotten respectively from the transmission spectrum with or without Gaussian noises.Secondly,the original supposed value of grating parameters is brought to the estimating function.Through repeatedly computing with the normal simplex algorithm,the grating parameters are obtained.
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-02-16
  • 录用日期:  2004-04-15
  • 刊出日期:  2005-03-25

透射光谱法测光栅参数的可行性

    通讯作者: 傅克祥, fukexiang168@sina.com; 
    作者简介: 张丽娟(1978- ),女,硕士研究生,主要从事光电信号处理方面的研究.傅克祥,通讯联系人.E-mail:fukexiang168@sina.com;张丽娟(1978- ),女,硕士研究生,主要从事光电信号处理方面的研究.傅克祥,通讯联系人.E-mail:fukexiang168@sina.com
  • 1. 四川大学, 物理系, 成都, 610064
  • 收稿日期: 2004-02-16
  • 录用日期: 2004-04-15
  • 网络出版日期: 2005-03-25

摘要: 利用透射光谱,结合正单纯形法来反演折射率调制光栅参数,首先利用光栅衍射傅里叶模式理论及RTCM算法得出在200nm~900nm波长范围内的透射光谱曲线,从上取5个点,作为理论计算值; 其次,在上述曲线上加入偏差不同的高斯噪声,以模拟透射光谱的测量曲线,再从每条曲线上各取5个对应点,获取模拟测量值;然后,假定光栅参数的初始值,代入评价函数,用正单纯形法不断进行迭代反演,得到光栅参数的计算模拟结果。此方法简单、快速、精确。

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