集成光电传感器的研究

黄伟; 周肇飞; 张涛

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集成光电传感器的研究

黄伟 , 周肇飞 , 张涛

文章导航 > 激光技术 > 2004 > 28(6): 595-597

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集成光电传感器的研究

1.
四川大学, 激光应用研究所, 成都, 610065

作者简介: 黄伟(1969- ),男,在职博士研究生,现从事光电检测技术、纳米测试方面的研究.E-mail:huangrui@scu.edu.cn.

中图分类号: TP212.1

Research of integrated optic-electronic sensor

1.
Institute of Applied Laser Technology, Sichuan University, Chengdu 610065, China
CLC number: TP212.1

摘要: 为适应现代加工技术的需要,研制了一种集成非接触式光电传感器,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度3种测量方式结合起来,实现同时测量3种参数的功能。通过运用自适应滤波对数据进行处理,其测量精度与单功能传感器相近。
- 光电传感器 /
- 传感器集成 /
- 粗糙度 /
- 微位移 /
- 微观轮廓
Abstract: In order to adapt to the development of modern manuf ac ture technology,a noncontact integrated optic-electronic sensor is designed.It combines three common methods:micrometer,roughness-meter and profilometer and can measure micro-displacement,roughness and profile at the same time.It uses an adaptive noise compensation system to eliminate the noise,whose accuracy is similar to each existing single function sensor.
- photoelectric sensor /
- sensor integration /
- roughness /
- micro-displacement /
- micro-profile

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