集成光电传感器的研究

黄伟; 周肇飞; 张涛

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集成光电传感器的研究

黄伟 , 周肇飞 , 张涛

文章导航 > 激光技术 > 2004 > 28(6): 595-597

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集成光电传感器的研究

1.
四川大学, 激光应用研究所, 成都, 610065

作者简介: 黄伟(1969- ),男,在职博士研究生,现从事光电检测技术、纳米测试方面的研究.E-mail:huangrui@scu.edu.cn.

中图分类号: TP212.1

Research of integrated optic-electronic sensor

1.
Institute of Applied Laser Technology, Sichuan University, Chengdu 610065, China
CLC number: TP212.1

摘要: 为适应现代加工技术的需要,研制了一种集成非接触式光电传感器,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度3种测量方式结合起来,实现同时测量3种参数的功能。通过运用自适应滤波对数据进行处理,其测量精度与单功能传感器相近。
- 光电传感器 /
- 传感器集成 /
- 粗糙度 /
- 微位移 /
- 微观轮廓
Abstract: In order to adapt to the development of modern manuf ac ture technology,a noncontact integrated optic-electronic sensor is designed.It combines three common methods:micrometer,roughness-meter and profilometer and can measure micro-displacement,roughness and profile at the same time.It uses an adaptive noise compensation system to eliminate the noise,whose accuracy is similar to each existing single function sensor.
- photoelectric sensor /
- sensor integration /
- roughness /
- micro-displacement /
- micro-profile

[1]	ZHOU W D,ZHOU Z F,CHI G C.Investigation of common-path interferometry[J].Opt Engng,1997,36(11):3172～3175.
[2]	DOWNS M J,McGIVERN W H,FERGUSEN H J.Optical system for measuring the profile of super smooth surface[J].Precision Engineering,1985,7(4):211～215.
[3]	HUANG C C.Optical heterodyne profilometer[J].Opt Engng,1984,23(4):365～370.
[4]	唐朝伟,梁锡昌.表面起伏测量系统中激光三角测量头的设计[J].激光杂志,1993,14(1):30～34.
[5]	唐文孝,强锡富.用散射光测量光滑金属表面的粗糙度[J].仪器仪表学报,1993,14(4):381～385.

[1]	陈君 , 张群莉 , 姚建华 , 傅纪斌 . 材料表面粗糙度对激光吸收率影响的研究. 激光技术, 2008, 32(6): 624-627.
[2]	赵士伟 , 张海云 , 李志永 , 赵玉刚 , 张晋烨 . 激光参量对血管支架切缝形貌及粗糙度的影响. 激光技术, 2020, 44(3): 299-303. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.03.005
[3]	赵育良 , 许兆林 , 李开端 . 基于CCD的激光微位移测量系统研究. 激光技术, 2003, 27(1): 73-75.
[4]	郭华锋 , 李菊丽 , 孙涛 . 基于BP神经网络的光纤激光切割切口粗糙度预测. 激光技术, 2014, 38(6): 798-803. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.016
[5]	罗振坤 . 激光辐射防护与光电对抗技术研究进展. 激光技术, 2003, 27(5): 423-427.
[6]	朱晨 , 刘永胜 , 宋淑萍 , 徐舟 . 金属梁挠度的激光全息再现. 激光技术, 2004, 28(3): 296-297,302.
[7]	秦华 , 郑荣儿 , 杨爱玲 . 潮湿环境对黄铜烧蚀阈值的影响. 激光技术, 2003, 27(6): 497-499.
[8]	王飞 , 姚振强 . 激光冲击强化黄铜的实验研究. 激光技术, 2006, 30(5): 511-513.
[9]	唐朝伟 , 粟锡昌 . 曲面轮廓测量中二维坐标传感器的设计. 激光技术, 1993, 17(4): 239-243.
[10]	王晓蒙 , 王会峰 , 姚乃夫 . 基于粒子群算法的激光位移传感器参量优化. 激光技术, 2018, 42(2): 181-186. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.02.008
[11]	龙龙 , 李宗峰 . 基于激光位移传感器的3维位置测量算法研究. 激光技术, 2017, 41(4): 531-536. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.04.015
[12]	胡哲峰 , 陈福深 , 孙豹 , 陈实 . 集成光波导电场传感器分段电极频率响应分析. 激光技术, 2011, 35(5): 688-691. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.05.030
[13]	张贤义 , 巩马理 . 在线光纤传感器. 激光技术, 1996, 20(1): 57-57.
[14]	柯才军 , 易新建 , 赖建军 . CCD图像传感器的微透镜阵列设计与实验研究. 激光技术, 2004, 28(2): 186-189.
[15]	朱彦旭 , 杜志娟 , 刘飞飞 , 于宁 , 王岳华 , 宋会会 , 王红航 . GaN基微腔传感器悬空隔膜的力电转换的ANSYS研究. 激光技术, 2016, 40(6): 791-795. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.06.004
[16]	蔡俊 , 陈奂文 , 董超 , 高翔 , 王语章 . 基于双芯光子晶体光纤耦合微扰传感器. 激光技术, 2021, 45(3): 326-330. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.03.011
[17]	何国豪 , 劳子彬 , 甘宏海 , 曹明轩 , 付斌 , 刘志平 , 王颖 , 袁铭辉 . 工艺参数对SLM成形CuCrZr合金微流道粗糙度的影响. 激光技术, 2023, 47(5): 639-645. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.05.010
[18]	陆纪兴 . 光电多传感器信息熔合系统. 激光技术, 1995, 19(2): 96-104.
[19]	王志国 , 尹亮 , 林承友 , 宣佳彬 , 叶青 . 双金属层表面等离子体共振传感器灵敏度优化. 激光技术, 2017, 41(3): 328-331. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.03.005
[20]	刘闯闯 , 朱学华 , 苏浩 . 高灵敏度全光纤电流传感器研究进展. 激光技术, 2022, 46(2): 175-181. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2022.02.005