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ZnS薄膜脉冲激光沉积及其发光特性

纠智先 张兵临 姚宁

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ZnS薄膜脉冲激光沉积及其发光特性

    作者简介: 纠智先(1979- ),女,硕士研究生,现从事激光技术与薄膜材料专业方面的研究工作.E-mail:jiuzhixian@gs.zzu.edu.cn.
  • 基金项目:

    河南省科技攻关计划资助项目(001120321)

  • 中图分类号: O484.4

ZnS thin film deposited by pulsed lasers and its luminescent characteristic

  • CLC number: O484.4

  • 摘要: 综述了ZnS的发光机制,脉冲激光沉积(PLD)制备薄膜的原理、特点,分析了在用PLD制备ZnS过程中各主要沉积条件对成膜质量的影响,展望了ZnS薄膜的应用前景。
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-01-08
  • 录用日期:  2004-03-03
  • 刊出日期:  2004-11-25

ZnS薄膜脉冲激光沉积及其发光特性

    作者简介: 纠智先(1979- ),女,硕士研究生,现从事激光技术与薄膜材料专业方面的研究工作.E-mail:jiuzhixian@gs.zzu.edu.cn
  • 1. 郑州大学, 材料物理教育部重点实验室, 郑州, 450052
基金项目:  河南省科技攻关计划资助项目(001120321)

摘要: 综述了ZnS的发光机制,脉冲激光沉积(PLD)制备薄膜的原理、特点,分析了在用PLD制备ZnS过程中各主要沉积条件对成膜质量的影响,展望了ZnS薄膜的应用前景。

English Abstract

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