一种适合于大量制备行波SOA增透膜新技术

段子刚; 刘德明

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一种适合于大量制备行波SOA增透膜新技术

段子刚 , 刘德明

文章导航 > 激光技术 > 2004 > 28(5): 547-549

引用本文:

Citation:

一种适合于大量制备行波SOA增透膜新技术

段子刚¹,
刘德明²

1.
深圳大学, 光电子学研究所, 广东省光电子器件与系统重点实验室, 深圳, 518060;
2.
华中科技大学, 光电子工程系, 武汉, 430074

作者简介: 段子刚(1955- ),男,博士,主要从事光电子器件研究工作.E-mail:zgduan@szu.edu.cn.

中图分类号: O484.1;TN248.4

A new method for AR coating in mass production of traveling wave SOA

DUAN Zi-gang¹,
LIU De-ming²

1.
Key Laboratory of Optoelectronics Device and Systems of Guangdong Province, Institute of Optoelectronics, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China;
2.
Department of Optoelectronics, HUST, Wuhan 430074, China
CLC number: O484.1;TN248.4

摘要: 提出了一种适合于批量制备SOA减反膜的实时监控技术。监控系统简单,操作方便,可以应用于国产镀膜机。由此技术批量制备SOA,腔面剩余反射均接近10-4。
- 半导体光放大器 /
- 增透膜 /
- 剩余反射 /
- 适时监控
Abstract: A new monitor and control method for AR coating in mass production of traveling wave semiconductor optical amplifier(SOA) has been presented. With simplicity in system and operation, this technology can be applied to coating equipment made inland. Approximately as low as 10-4 of residual reflectivity in mass production with uniformity and repetition has been demonstrated.
- semiconductor optical amplifier(SOA) /
- AR coating /
- residual reflectivity /
- real time monitor and control

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