He-Ne拍波激光干涉仪的研究

朱目成; 周肇飞; 张涛

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He-Ne拍波激光干涉仪的研究

朱目成 , 周肇飞 , 张涛

文章导航 > 激光技术 > 2004 > 28(5): 531-533

引用本文:

Citation:

He-Ne拍波激光干涉仪的研究

1.
四川大学, 激光应用技术研究所, 成都, 610065;
2.
西南科技大学, 制造科学与工程学院, 绵阳, 621010

作者简介: 朱目成(1964- ),男,博士研究生,教授,现从事光电测试技术、传感器技术的研究.E-mail:zmcheng@swust.edu.cn.

基金项目:
国家自然科学基金资助项目(50275101)
中图分类号: TN248.2;TH744.3

Research of the He-Ne laser beat-wave interferometer

1.
Institute of Applied Laser, Sichuan University, Chengdu 610065, China;
2.
College of Manufacturing Science & Engineering, South-west University of Science & Technology, Mianyang 621010, China
CLC number: TN248.2;TH744.3

摘要: 介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置。装置以双纵模热稳频HeNe激光器为光源。理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度(室外不低于1×10-7)和强的抗干扰性,拍波频率约为750MHz,拍波长约为400mm。该装置以拍波合成的场强信号的节点为对准标志,以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验表明,该装置的节点定位精度小于0.05mm,尾数测量部分分辨率为0.08μm,整个测量系统可在20m范围内进行精度为±50μm+1.5×10-6·L(L为被测长度,单位为m)的测量。
- 大尺寸 /
- 双纵模 /
- 节点 /
- 拍波干涉
Abstract: A precision measuring method and device for large size work-piece is presented in the paper.The frequency-stabilized double longitudinal modes He-Ne laser with thermoregulation is used as light source,which has high stability of frequency difference(less than 1×10-7 in the open air) and good anti-disturbance performance that has been proved by theory and experiments.Its beat frequency is about 750MHz and beat wavelength 400mm.The node is used as sampling flag and the beat-wave fringe fraction is measured with double frequency interferometer combined by optical components.The experiments indicate that the accuracy of determining nodes is less than 0.05mm,the resolution for measuring fringe fraction is 0.08μm,the accuracy of the device is ±50μm+1.5×10-6·L(L is the measured distance,unit m)in the range of 20m length.
- large size /
- double longitudinal modes /
- node /
- beat-wave interferometer

[1]

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He-Ne拍波激光干涉仪的研究

作者简介: 朱目成(1964- ),男,博士研究生,教授,现从事光电测试技术、传感器技术的研究.E-mail:zmcheng@swust.edu.cn

1. 四川大学, 激光应用技术研究所, 成都, 610065;
2. 西南科技大学, 制造科学与工程学院, 绵阳, 621010

收稿日期: 2003-09-11
录用日期: 2003-12-17
网络出版日期: 2004-09-25

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(50275101)

关键词:

大尺寸 /
双纵模 /
节点 /
拍波干涉

摘要: 介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置。装置以双纵模热稳频HeNe激光器为光源。理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度(室外不低于1×10-7)和强的抗干扰性,拍波频率约为750MHz,拍波长约为400mm。该装置以拍波合成的场强信号的节点为对准标志,以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验表明,该装置的节点定位精度小于0.05mm,尾数测量部分分辨率为0.08μm,整个测量系统可在20m范围内进行精度为±50μm+1.5×10-6·L(L为被测长度,单位为m)的测量。