位置敏感探测器受杂光干扰特性的研究

基金项目:

国家自然科学基金资助项目(60278008)

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Effect of noise ray on properties of position sensitive detector

Department of Electronic Science and Technology, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China

摘要: 介绍了位置敏感探测器(PSD)的结构、工作原理及在稳定背景杂散光干扰下的位置输出方程,同时介绍了消除稳定背景杂散光的方法、措施和实验结果。结果表明,线位移测量分辨力可达到2μm。
- 位置敏感探测器 /
- 抗干扰 /
- 杂光 /
- 半导体
Abstract: The construction and theory of position sensitive detection (PSD),the output equation at the presence of steady stray light are mainly introduced in this paper.In the same time,the methods of eliminating the steady stray light and the results of experiments are given.The experiment results show that the resolution of linear displacement can reach 2μm.
- position sensitive detector(PSD) /
- anti-interference /
- stray light,semiconductor

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