短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计

任韧; 陈长乐; 朱世华; 徐进; 金克新; 王永仓; 袁孝; 宋宙模

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短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计

任韧 , 陈长乐 , 朱世华 , 徐进 , 金克新 , 王永仓 , 袁孝 , 宋宙模

文章导航 > 激光技术 > 2004 > 28(4): 434-437,448

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Citation:

短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计

1.
西安交通大学, 物理系, 西安, 710049;
2.
西北工业大学, 应用物理系, 西安, 710072;
3.
西安交通大学, 信息与通信系, 西安, 710049;
4.
西安交通大学, 生物医学工程所, 西安, 710049

作者简介: 任韧(1966- ),男,博士研究生,现主要从事大功率激光,光电子器件及半导体材料研究.E-mail:renren@mail.xjtu.edu.cn.

基金项目:
国家自然科学基金资助项目(60171043);陕西省自然科学基金资助项目(2001C21)
中图分类号: TN242

Dynamic model of a new XeCl laser with short duration time and UV grow discharge system design

1.
Department of Physics, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China;
2.
Department of Applied Physics, Northwes-tern Polytechnical University, Xi'an 710072, China;
3.
Department of Information & Communication, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China
CLC number: TN242

摘要: 以薄膜沉积、外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,研究了XeCl动力学模型及辉光实现。采用辉光脉冲放电方法,实现了激光输出,根据动力学方程、XeCl激光四能级模型,计算了XeCl反应速率及密度。结果表明,辉光放电稳定,激光脉宽短,功率高,辉光放电体积大,激光脉宽18ns,单脉冲能量450mJ,矩形光斑2cm×1cm,束散角3mrad。动力学分析和系统模型成立,激光对靶材溅射获得了等离子羽辉。
- XeCl准分子激光 /
- 纳秒放电 /
- 脉冲激光沉积技术 /
- 辉光放电
Abstract: A new high power,short duration time XeCl laser is realized in order to prepare microstructure of quantum effect,depositing film,molecular beam epitaxy and analysis of output pulse profiles. It adopts the method of glow discharged,the calculation of dynamic equation,the analysis velocity reaction and density of XeCl laser,and UV preionization. In the addition,the parameters of the laser are also measured. The results are wavelength 308nm,the pulse duration time 18ns,the pulse energy 450mJ and the beam divergence angle 3mrad. It is shown that the proposed glow discharged is realized,the dynamic equation model of laser is correct,and the laser has high efficiency to produce the vapor plasma plume.It can be applied in the interaction between laser and material,material plasma study.
- XeCl excimer laser /
- nanosecond discharge /
- pulsed laser deposition technique /
- glow

[1]	MARTINO M,LUCHES A,FERNANDEZ M.Characterization of thin indium tin oxide films deposited by pulsed XeCl laser ablation [J].Appl Phys,2001,34 (17):2606～2609.
[2]	SKAKUN V S,LOMAEV M I,TARASENKO V F.KrCl and XeCl exciplex glow discharge lamps with an output power of similar to 1.5kW [J].Tech Phys Lett,2002,28(11):899～801.
[3]	BERRY G A.On the long pulse operation of an X-ray preionzed gas discharge pumped ArF excimer laser [J].A P L,1999,75:23～24.
[4]	ITO S.Continuous operation up to 3kHz in a discharge-pumped XeCl excimer laser [J].Appl Phys,1996,63(1):1～7.

[1]	李俊杰 , 李波 , 王又青 . 大流量轴快流CO2激光器放电管的对比分析. 激光技术, 2015, 39(3): 308-311. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.03.005
[2]	方晓东 , 余吟山 , 汪建业 . 100W XeCl准分子激光器的放电特性. 激光技术, 1997, 21(4): 255-256.
[3]	马英岚 , 梁勖 , 赵读亮 , 方晓东 . 放电准分子激光电磁干扰环境下控制系统设计. 激光技术, 2017, 41(2): 210-212. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.02.013
[4]	赵震声 . 横向放电激励的小功率准分子激光器系列通过专家鉴定. 激光技术, 1989, 13(6): 22-22.
[5]	方晓东 , 戴静华 . 实用化XeCl准分子激光器气体寿命的实验研究. 激光技术, 1996, 20(1): 50-52.
[6]	陈传忠 , 包全合 , 姚书山 , 雷廷权 . 脉冲激光沉积技术及其应用. 激光技术, 2003, 27(5): 443-446.
[7]	杨培根译 , 张凤英校 . 准分子激光器. 激光技术, 1979, 3(4): 40-52.
[8]	邓素辉 , 陶向阳 , 刘明萍 , 周彩玉 . 飞秒-纳秒脉冲激光烧蚀金属热效应分析. 激光技术, 2007, 31(1): 4-7.
[9]	叶震寰 , 楼祺洪 , 李红霞 , 董景星 , 魏运荣 . 准分子激光光束均匀技术. 激光技术, 2005, 29(2): 207-209,212.
[10]	石文波 , 杨亮 , 金玉奇 , 李庆伟 , 吴克难 . 纳秒脉冲激光抽运下的铯蒸气电离度研究. 激光技术, 2022, 46(6): 713-721. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2022.06.001
[11]	张萌 , 方英武 , 张广鹏 . 纳秒脉冲激光辐照铝靶碎片动态响应的仿真研究. 激光技术, 2023, 47(4): 541-546. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.04.015
[12]	黄继强 , 胡传炘 , 刘颖 , 沈忱 . 纳秒脉冲激光处理后硅电池光电转换效率研究. 激光技术, 2013, 37(3): 317-320. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.03.011
[13]	吴鹏 , 范云茹 , 郭嘉伟 , 刘晓旭 , 周强 , 邓光伟 , 宋海智 , 王浟 . 纳秒脉冲激光加工高反射率铝膜. 激光技术, 2019, 43(6): 779-783. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.06.009
[14]	张中华 , 孙正和 , 吴恒莱 , 于俊华 . 快放电泵浦S2脉冲激光器的研制. 激光技术, 1997, 21(6): 326-329.
[15]	陈瑞涛 , 顾华东 , 郑陈琪 , 杨杰 , 吴先友 . 纳秒钬激光碎石系统设计. 激光技术, 2014, 38(4): 441-444. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.04.002
[16]	胡雪金 , 赵震声 , 王伟 , 汪道文 , 余枢 , 吴天根 , 陆再英 . 准分子激光离体血管成形术. 激光技术, 1989, 13(3): 40-44.
[17]	张贤义译 , 刘建卿校 . 准分子激光器项目获得政府经费. 激光技术, 1990, 14(2): 27-27.
[18]	宋登元 . ArF准分子激光光刻的研究现状. 激光技术, 1999, 23(5): 288-291.
[19]	郭商勇 , 陈涛 , 刘世炳 . 提高准分子激光打孔质量的方法研究. 激光技术, 2006, 30(6): 625-627.
[20]	马美娟 , 张运海 , 满宝元 . KrF准分子激光刻蚀PMMA研究. 激光技术, 2011, 35(5): 708-711. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.05.035

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短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计

作者简介: 任韧(1966- ),男,博士研究生,现主要从事大功率激光,光电子器件及半导体材料研究.E-mail:renren@mail.xjtu.edu.cn

1. 西安交通大学, 物理系, 西安, 710049;
2. 西北工业大学, 应用物理系, 西安, 710072;
3. 西安交通大学, 信息与通信系, 西安, 710049;
4. 西安交通大学, 生物医学工程所, 西安, 710049

收稿日期: 2003-08-27
录用日期: 2004-02-04
网络出版日期: 2004-07-25

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(60171043);陕西省自然科学基金资助项目(2001C21)

关键词:

摘要: 以薄膜沉积、外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,研究了XeCl动力学模型及辉光实现。采用辉光脉冲放电方法,实现了激光输出,根据动力学方程、XeCl激光四能级模型,计算了XeCl反应速率及密度。结果表明,辉光放电稳定,激光脉宽短,功率高,辉光放电体积大,激光脉宽18ns,单脉冲能量450mJ,矩形光斑2cm×1cm,束散角3mrad。动力学分析和系统模型成立,激光对靶材溅射获得了等离子羽辉。

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短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计

作者简介: 任韧(1966- ),男,博士研究生,现主要从事大功率激光,光电子器件及半导体材料研究.E-mail:renren@mail.xjtu.edu.cn

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