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PSD器件自动化标定与非线性修正技术研究

李忠科 秦永元

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PSD器件自动化标定与非线性修正技术研究

    作者简介: 李忠科(1956- ),男,博士研究生,教授,现主要从事精密仪器与机械、计算机测量与控制方面的研究.E-mail:lizhongke@vip.sina.com.
  • 中图分类号: TP212

Research of on-line measurement and non-linearity correction of two dimension PSD device

  • CLC number: TP212

  • 摘要: 介绍了一种应用数控平台对二维位敏探测器(position,sensitive,detector,PSD)器件进行在线测量并用人工神经网对其非线性进行修正的方法。对光斑在二维PSD光敏面上的横向位移,以光斑的二维坐标集合为人工神经网的期望输出,以PSD输出的二维坐标集合为人工神经网的训练样本,对人工神经网络进行训练。利用人工神经网络所具有的非线性映射能力,在训练结束后即可建立PSD输入与输出的近似线性关系。结果表明,修正后的PSD器件可以实现任意输入的实时非线性修正。
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-08-25
  • 录用日期:  2003-12-12
  • 刊出日期:  2004-07-25

PSD器件自动化标定与非线性修正技术研究

    作者简介: 李忠科(1956- ),男,博士研究生,教授,现主要从事精密仪器与机械、计算机测量与控制方面的研究.E-mail:lizhongke@vip.sina.com
  • 1. 西北工业大学自动化学院, 西安, 710072

摘要: 介绍了一种应用数控平台对二维位敏探测器(position,sensitive,detector,PSD)器件进行在线测量并用人工神经网对其非线性进行修正的方法。对光斑在二维PSD光敏面上的横向位移,以光斑的二维坐标集合为人工神经网的期望输出,以PSD输出的二维坐标集合为人工神经网的训练样本,对人工神经网络进行训练。利用人工神经网络所具有的非线性映射能力,在训练结束后即可建立PSD输入与输出的近似线性关系。结果表明,修正后的PSD器件可以实现任意输入的实时非线性修正。

English Abstract

参考文献 (7)

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