用于光波导的高性能聚合物薄膜制备工艺研究

韩晓星; 朱大庆; 宁娜; 金曦

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用于光波导的高性能聚合物薄膜制备工艺研究

韩晓星 , 朱大庆 , 宁娜 , 金曦

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Citation:

用于光波导的高性能聚合物薄膜制备工艺研究

1.
华中科技大学, 激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074

作者简介: 韩晓星(1979- ),男,硕士研究生,主要从事聚合物薄膜波导制作方面的研究工作,E-mail:han_x_x@sina.com.

基金项目:
国家八六三计划资助项目(2001AA312170)
中图分类号: O484.4⁺1

Investigation on the preparation of advanced polymer thin film for waveguides

1.
National Laboratory of Laser Technology, HUST, Wuhan 430074, China
CLC number: O484.4⁺1

摘要: 讨论了在硅基片上旋涂用于光波导的PS聚合物薄膜时,部分工艺参数,如溶液浓度、旋涂转速、溶剂挥发性、吸水性等对薄膜质量的影响,得到了薄膜厚度随浓度和转速变化的经验公式。分析了造成薄膜缺陷的原因,并对薄膜的性能如薄膜厚度、红外吸收特性和表面轮廓进行了测试。
- 光波导 /
- 薄膜 /
- 旋涂 /
- 聚合物
Abstract: The effect of some process parameters,such as solution concentration,spin speed,volatility and vapor absorbing ability of solvents,on the qualities of the spin coated polymer thin films on silicon substrate is discussed.An experiential equations was summarized to describe the relationship between the thickness of the PS films and the solution concentration and spin speed.Possible conditions that may lead to fault on films are analyzed,and some characters of the film such as the thickness,infra-red absorbing spectrum and topography are tested.
- waveguide /
- thin film /
- spin coating /
- polymer

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